catalog / TECHNICAL SCIENCES / Technology, equipment and production of electronic equipment
скачать файл: 
- title:
- Перелыгин, Игорь Захарович. Разработка и исследование технологии осаждения многокомпонентных стекловидных пленок методом Вч-магнетронного распыления со смещением для БГИС АПОИ 4-5 поколений
- The year of defence:
- 1992
- brief description:
- Перелыгин, Игорь Захарович. Разработка и исследование технологии осаждения многокомпонентных стекловидных пленок методом Вч-магнетронного распыления со смещением для БГИС АПОИ 4-5 поколений : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Москва, 1992.- 30 с.: ил.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб