Плазмохимический синтез пленок гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния из кремнийорганических соединений в смесях с азотом и кислородом Плеханов Александр Георгиевич

brief description

Плеханов, Александр Георгиевич.
Плазмохимический синтез пленок гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния из кремнийорганических соединений в смесях с азотом и кислородом : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.04 / Плеханов Александр Георгиевич; [Место защиты: Ин-т неорган. химии им. А.В. Николаева СО РАН]. - Новосибирск, 2017. - 127 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат наук Плеханов Александр Георгиевич
СОДЕРЖАНИЕ
СПИСОК УСЛОВНЫХ ОБОЗНАЧЕНИЙ
ВВЕДЕНИЕ
Глава 1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР
1.1. Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния
1.2. Методы синтеза пленок оксикарбонитрида кремния
1.3. Использование плазмы в химических процессах
1.4. Термодинамическое моделирование процессов фазообразования в системе Si-C-N-O-(H)
1.5. Изучение состава газовой фазы во время горения плазмы
1.6. Методы исследования химического состава тонких пленок
1.7. Заключение 32 Глава 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ
2.1. Схема установки PECVD
2.2. Подготовка подложек к синтезу пленок
2.3. Исходные газовые смеси
2.4. Изучение in situ химического состава газовой фазы методом эмиссионной оптической спектроскопии
2.5. Осаждение пленок оксикарбонитрида кремния методом PECVD
2.6. Методы исследования состава, физико-химических и функциональных свойств пленок оксикарбонитрида кремния 39 Глава 3. РЕЗУЛЬТАТЫ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ
3.1. Система ГМДС+O^xN 42 3.1.1. Изучение химического состава пленок, полученных из смеси ГМДС+O2
3.2. Система ТМДС+O^xN 56 3.2.1. Изучение химического состава и структуры пленок SiCxN>,Oz:H, полученных из смесей ТМДС+O^xN
3.3. Изучение in situ химического состава газовой фазы во время горения ВЧ -плазмы методом оптической эмиссионной спектроскопии
3.4. Функциональные свойства пленок SiCxN>,Oz:H, полученных из смесей ТМДС+O^xN и ГМДС+O^xN*
3.5. Системы МТДЭАС+N* МТДЭАС+He, МТДЭАС+O^xN
3.5.1. Изучение химического и фазового состава пленок карбонитрида кремния,
полученных из смесей МТДЭАС+N и МТДЭАС +He
3.5.2. Изучение функциональных свойств пленок, полученных из смесей МТДЭАС+N* МТДЭАС+He
3.5.3. Изучение химического и фазового состава пленок, полученных из смесей МТДЭАС +O2+xN2 96 3.6. Перспективы применения пленок оксикарбонитрида кремния 103 ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ 108 СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
СПИСОК УСЛОВНЫХ ОБОЗНАЧЕНИЙ ГМДС - 1,1,1,3,3,3-гексаметилдисилазан ТМДС - 1,1,3,3-тетраметилдисилазан [(CH3)2SiH]2NH МТДЭАС - метилтрис(диэтиламино)силан (CH3)Si[N(C2H5)2]3 СУБ - химическое осаждение из газовой фазы
РЕСУБ - плазмостимулированное химическое осаждение из газовой фазы
ЬРСУБ - химическое осаждение из газовой фазы при пониженном давлении
РУБ - физическое осаждение из газовой фазы
ИК - спектроскопия - инфракрасная спектроскопия
КР - спектроскопия - спектроскопия комбинационного рассеяния света
РФЭС - рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия
ЯМР - спектроскопия ядерного магнитного резонанса
АСМ - атомно-силовая микроскопия
СЭМ - сканирующая электронная микроскопия
ЭДС - энергодисперсионная спектроскопия
РФА - СИ - рентгенофазовый анализ с использованием синхротронного излучения
МДП структура - структура металл/диэлектрик/полупроводник
ВФХ - вольт-фарадная характеристика
РЭМ - растровая электронная микроскопия
ФЛ - фотолюминесценция
г.!". - радиочастотная плазма