Полиорганосиланы: Натрийорган. синтез, механизм образования и применение в микролитографии Иванов, Владимир Васильевич

brief description

Иванов, Владимир Васильевич.
Полиорганосиланы : Натрийорган. синтез, механизм образования и применение в микролитографии : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.08. - Москва, 1998. - 95 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат химических наук Иванов, Владимир Васильевич
Введение
1. Литературный обзор
1.1. Методы синтеза полиорганосиланов
1.1.1. Реакции диорганодихлорсиланов с щелочными металлами
1.1.2. Электрохимическое восстановление диорганодихлорсиланов
1.1.3. Реакция органосиланов с комплексами переходных металлов
1.2. Изучение механизма реакции диорганодихлорсиланов с натрием
1.3. Физико-химические свойства полиорганосиланов 17 1.3.1. Фотохимия полиорганосиланов
1.4. Химические свойства полиорганосиланов
1.4.1. Окисление кислородсодержащими соединениями
1.4.2. Взаимодействие с галогенами и галогенпроизводными
1.4.3. Реакции с участием боковых заместителей полиорганосиланов
1.4.4. Деструкция полиорганосиланов
1.5. Применение полиорганосиланов
1.5.1. Полиорганосиланы как исходные материалы для 81-С керамики
1.5.2. Полиорганосиланы в качестве резистов в микролитографии
1.6. Выводы из литературного обзора
2. Обсуждение результатов
2.1. Разработка метода синтеза полиорганосиланов
2.1.1. Влияние температуры на синтез полиорганосиланов
2.1.2. Влияние растворителя
2.1.3. Влияние краун-эфиров и ртутьсодержащих соединений
2.1.4. Влияние органических заместителей диорганодихлорсилана
2.2. Изучение механизма реакций диорганодихлорсиланов с натрием
2.3. Изучение кинетики реакции диорганодихлорсиланов с натрием
2.4. Фотохимическое изучение полиорганосиланов
2.5. Разработка новых резистов на основе полиорганосиланов
3. Экспериментальная часть
4. Выводы
5. Литература