Получение пленок вольфрам-теллуритного стекла методом ВЧ-магнетронного распыления и исследование их оптических свойств Интюшин, Евгений Борисович

brief description

Интюшин, Евгений Борисович.
Получение пленок вольфрам-теллуритного стекла методом ВЧ-магнетронного распыления и исследование их оптических свойств : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.01. - Нижний Новгород, 2006. - 135 с.
Оглавление диссертациикандидат химических наук Интюшин, Евгений Борисович
Введение.
Глава 1. ПОЛУЧЕНИЕ, СТРУКТУРА И СВОЙСТВА СТЕКОЛ СИСТЕМЫ
Te02~W03 (Литературный обзор).
1.1 Стеклообразование в системах на основе Те02.
1.2 Область стеклообразования в системе Te02-W03 и структура стекол.
I 1.3 Свойства теллуритных стекол.
1.3.1 Физико-химические свойства теллуритных стекол.
1.3.2 Кинетика растворения.
1.3.3 Электрические свойства.
1.3.4 Оптические и парамагнитные свойства теллуритных стекол. $ 1.3.4.1 ИК-спектры и спектры КР теллуритных стекол и продуктов их кристаллизации.
1.3.4.2 Спектры ЭПР.
1.4 Стекла системы Te02-W03, активированные редкоземельными элементами.
1.4.1 Люминесценция эрбия в теллуритном стекле.
1.4.2 Влияние примеси ОН-групп на люминесценцию эрбия в теллуритном стекле.
1.5 Применение теллуритных стекол.
1.6 Цель и задачи исследования.
Глава 2. ПОЛУЧЕНИЕ И ИССЛЕДОВАНИЕ СВОЙСТВ ТЕЛЛУРИТНЫХ
СТЕКОЛ.
2.1 Методика получения стекол систем Te02-W03, Te02-W03-R203, Te02-ZnCl2.
2.2 Химическая стойкость и состав вольфрам-теллуритного стекла.
2.3 Влияние примеси воды на ИК-пропускание в вольфрам-теллуритном стекле.
2.4 Показатель преломления вольфрам-теллуритного стекла.
2.5 Микрооднородность вольфрам-теллуритного стекла.
2.6 Комбинационное рассеяние вольфрам-теллуритного стекла.
2.7 Спектрально-люминесцентные параметры вольфрам-теллуритного
1 стекла, активированного эрбием и иттербием.
2.8 Магнитооптические свойства теллуритного стекла Te02-ZnCl2, активированного неодимом, празеодимом, тербием, эрбием, иттербием и гольмием.
2.8.1 Парамагнитные свойства вольфрам-теллуритного стекла, * активированного эрбием и иттербием.
Глава 3. РАЗРАБОТКА СПОСОБА ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК ТЕЛЛУРИТНЫХ СТЕКОЛ ВЧ-МАГНЕТРОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ.
3.1 Физико-химические основы процесса ВЧ-магнетронного распыления.
3.2 Аппаратура для ВЧ-магнетронного распыления.
3.3 Мишени и подложки для ВЧ-распыления.
3.4 Методика эксперимента.
3.5 Результаты эксперимента по выбору условий процесса формирования пленок.
3.6 Структура и состав пленок.
Глава 4. ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТЕЛЛУРИТНЫХ ПЛЕНОК.
4.1 Оптические свойства пленок Te02-W03.
4.1.1 Показатель преломления.
4.1.2 Комбинационное рассеяние.■.
4.2 Оптические свойства пленок Te02-W03, активированных эрбием и иттербием.
4.2.1 Фотолюминесценция.
4.2.2 Влияние термообработки на люминесцентные свойства.
Глава 5. ОБСУЖДЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ.
5.1 Определение спектрально-люминесцентных параметров вольфрам-теллуритного стекла при помощи теории Джадда-Офельта.
5.2 Влияние параметров распыления и термообработки на оптические свойства и качество пленок.
5.2.1 Толщина пленок и скорость осаждения.
5.2.2 Влияние термообработки на фотолюминесцентные свойства пленок.
5.3 Особенности переноса распыленных атомов при нанесении пленок вольфрам-теллуритного стекла.
ВЫВОДЫ.