catalog / CHEMICAL SCIENCES / inorganic chemistry
скачать файл: 
- title:
- Попов, Валерий Петрович. Синтез слоев нитрида кремния при взаимодействии моносилана и аммиака в реакторе пониженного давления
- The year of defence:
- 1990
- brief description:
- Попов, Валерий Петрович. Синтез слоев нитрида кремния при взаимодействии моносилана и аммиака в реакторе пониженного давления : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 02.00.01.- Новосибирск, 1990.- 20 с.: ил.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб