catalog / Physics and mathematics / Physics of devices, components and systems
скачать файл: 
- title:
- Рау, Эдуард Иванович. Локальная диагностика объектов микроэлектроники методами томографии и сканирующей микроскопии
- university:
- Рос. акад. наук. ЦКБ уникального приборостроения
- The year of defence:
- 1993
- brief description:
- Рау, Эдуард Иванович. Локальная диагностика объектов микроэлектроники методами томографии и сканирующей микроскопии : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.01 / Рос. акад. наук. ЦКБ уникального приборостроения.- Москва, 1993.- 26 с.: ил. РГБ ОД, 9 93-2/651-5
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб