catalog / TECHNICAL SCIENCES / Solid-state electronics, radio electronic components, micro- and nanoelectronics, devices based on q
скачать файл: 
- title:
- Руденко Константин Васильевич. Диагностика плазменных технологических процессов микро- и наноэлектроники
- university:
- Физ.-технол. ин-т РАН
- The year of defence:
- 2007
- brief description:
- Руденко Константин Васильевич. Диагностика плазменных технологических процессов микро- и наноэлектроники : диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 / Руденко Константин Васильевич; [Место защиты: Физ.-технол. ин-т РАН].- Москва, 2007.- 298 с.: ил. РГБ ОД, 71 08-1/27
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб