catalog / TECHNICAL SCIENCES / Nanotechnology and Nanomaterials (by industry)
скачать файл: 
- title:
- Руденко Михаил Константинович. Математическое моделирование процесса криогенного плазменного травления высокоаспектных микроструктур в кремнии
- university:
- ФГБОУ ВО «МИРЭА - Российский технологический университет»
- The year of defence:
- 2023
- brief description:
- Руденко Михаил Константинович. Математическое моделирование процесса криогенного плазменного травления высокоаспектных микроструктур в кремнии;[Место защиты: ФГБОУ ВО «МИРЭА - Российский технологический университет»], 2023
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб