Рыжиков, Илья Анатольевич. Формирование электропроводящих полосковых структур с нанометровыми размерами
The number of pages:
200
university:
Москва
The year of defence:
2000
brief description:
Рыжиков, Илья Анатольевич. Формирование электропроводящих полосковых структур с нанометровыми размерами : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.13.- Москва, 2000.- 110 с.: ил. РГБ ОД, 61 01-5/404-X