Савчук, Сергей Александрович. Определение углерода в легколетучих материалах полупроводниковой техники
The number of pages:
200
university:
Москва
The year of defence:
1991
brief description:
Савчук, Сергей Александрович. Определение углерода в легколетучих материалах полупроводниковой техники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 02.00.02.- Москва, 1991.- 20 с.: ил.