catalog / TECHNICAL SCIENCES / Technology, equipment and production of electronic equipment
скачать файл: 
- title:
- Савенко Алексей Юрьевич. Исследование процессов локально-селективной обработки материалов и элементов электронной техники наноразмерным ионным пучком
- university:
- С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т (ЛЭТИ)
- The year of defence:
- 2008
- brief description:
- Савенко Алексей Юрьевич. Исследование процессов локально-селективной обработки материалов и элементов электронной техники наноразмерным ионным пучком : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Савенко Алексей Юрьевич; [Место защиты: С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т (ЛЭТИ)].- Санкт-Петербург, 2008.- 105 с.: ил. РГБ ОД, 61 09-5/785
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб