catalog / TECHNICAL SCIENCES / Solid-state electronics, radio electronic components, micro- and nanoelectronics, devices based on q
скачать файл: 
- title:
- Савкин Алексей Владимирович. Импульсная плазменная очистка технологических сред от микробиологических объектов в производстве изделий микро- и наноэлектроники
- The year of defence:
- 2002
- brief description:
- Савкин Алексей Владимирович. Импульсная плазменная очистка технологических сред от микробиологических объектов в производстве изделий микро- и наноэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01.- Москва, 2002.- 141 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-5/1187-4
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб