catalog / TECHNICAL SCIENCES / electronics
скачать файл:
- title:
- Семин, Юрий Федорович. Исследование рентгенолитографических процессов и разработка оборудования для получения структур субмикронных размеров
- university:
- Физико-технол. ин-т
- The year of defence:
- 1998
- brief description:
- Семин, Юрий Федорович. Исследование рентгенолитографических процессов и разработка оборудования для получения структур субмикронных размеров : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / Физико-технол. ин-т.- Москва, 1998.- 16 с.: ил. РГБ ОД, 9 98-5/4075-3
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб