catalog / TECHNICAL SCIENCES / Solid-state electronics, radio electronic components, micro- and nanoelectronics, devices based on q
скачать файл: 
- title:
- Шаныгин Виталий Яковлевич. Совершенствование технологии создания устройств микро- и наноэлектроники с использованием неравновесной СВЧ плазмы низкого давления
- university:
- Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю.А.
- The year of defence:
- 2015
- brief description:
- Шаныгин Виталий Яковлевич. Совершенствование технологии создания устройств микро- и наноэлектроники с использованием неравновесной СВЧ плазмы низкого давления: диссертация ... кандидата технических наук: 05.27.01 / Шаныгин Виталий Яковлевич;[Место защиты: Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю.А.].- Саратов, 2015.- 144 с.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб