catalog / TECHNICAL SCIENCES / Solid-state electronics, radio electronic components, micro- and nanoelectronics, devices based on q
скачать файл: 
- title:
- Силаков Михаил Валерьевич. Использование численного моделирования на основе метода Монте-Карло для исследования и оптимизации процессов высокоэнергетической электронной литографии
- The year of defence:
- 2003
- brief description:
- Силаков Михаил Валерьевич. Использование численного моделирования на основе метода Монте-Карло для исследования и оптимизации процессов высокоэнергетической электронной литографии : Дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.01 : Москва, 2003 151 c. РГБ ОД, 61:04-1/135-0
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб