catalog / TECHNICAL SCIENCES / Solid-state electronics, radio electronic components, micro- and nanoelectronics, devices based on q
скачать файл: 
- title:
- Смирнов Владимир Александрович. Разработка и исследование технологических основ процесса фотонностимулированного локального анодного окисления наноструктур на основе Si/SiO2/Ti
- university:
- Юж. федер. ун-т
- The year of defence:
- 2008
- brief description:
- Смирнов Владимир Александрович. Разработка и исследование технологических основ процесса фотонностимулированного локального анодного окисления наноструктур на основе Si/SiO2/Ti : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Смирнов Владимир Александрович; [Место защиты: Юж. федер. ун-т]. - Таганрог, 2008. - 148 с. : ил. РГБ ОД, 61:08-5/1005
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб