Суетин, Николай Владиславович. Теоретическое исследование газовых разрядов, используемых в плазменной микротехнологии
The number of pages:
200
university:
Москва
The year of defence:
1993
brief description:
Суетин, Николай Владиславович. Теоретическое исследование газовых разрядов, используемых в плазменной микротехнологии : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.08.- Москва, 1993.- 22 с.: ил.