catalog / Physics and mathematics / Physics of devices, components and systems
скачать файл:
- title:
- Тарасов Иван Анатольевич. РАЗВИТИЕ МЕТОДИКИ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ НАНОСТРУКТУР Fe/Si В ПРОЦЕССЕ РОСТА
- university:
- Институт физики им.Л.В.Киренского СО РАН http://kirensky.ru/ru/councils/dis
- The year of defence:
- 2014
- brief description:
- Тарасов Иван Анатольевич. РАЗВИТИЕ МЕТОДИКИ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ НАНОСТРУКТУР Fe/Si В ПРОЦЕССЕ РОСТА: диссертация ... кандидата физико-математических наук: 01.04.01 / Тарасов Иван Анатольевич;[Место защиты: Институт физики им.Л.В.Киренского СО РАН http://kirensky.ru/ru/councils/dis].- Красноярск, 2014.- 137 с.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб