Термическое окисление кремния в электрическом поле Малевская, Людмила Анатольевна

brief description

Малевская, Людмила Анатольевна.
Термическое окисление кремния в электрическом поле : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.01. - Воронеж, 1984. - 151 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат химических наук Малевская, Людмила Анатольевна
ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА I. ОСНОВНЫЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ ТЕРМИЧЕСКОГО ОКИСЛЕНИЯ КРЕМНИЯ
1.1. Кинетика термического окисления кремния в кислороде и в водяном паре.V
1.2. Классические модели процесса термического окисления кремния
1.3. Новые модели термического окисления кремния. Природа диффундирующих частиц при окислении в различных окислительных средах.
1.4. Влияние внешнего электрического поля на окисление металлов и полупроводников
ГЛАВА П. ХАРАКТЕРИСТИКА ИСХОДНЫХ МАТЕРИАЛОВ И УСТАНОВОК
2.1. Исходные материалы и установки
2.2. Конструкция ячейки и методика исследования влияния электрического поля на кинетику и механизм термического окисления кремния.
ГЛАВА Ш. ЗАКОНОМЕРНОСТИ ТЕРМИЧЕСКОГО ОКИСЛЕНИЯ КРШНИЯ В ПОСТОЯННОМ И ПЕРЕМЕННОМ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОЛЯХ
3.1. Влияние постоянного электрического поля на термическое окисление кремния в атмосфере водяного пара.
3.2. Влияние постоянного электрического поля на процесс термического окисления кремния в сухом кислороде.
3.3. Природа частиц, определявших процесс термического окисления кремния в водяном паре и сухом кислороде.
3.4. Влияние переменного электрического поля на термическое окисление кремния
3.5. Взаимное каталитическое влияние поверхностей кремния при дистанционном окислении в структуре в атмосфере влажного кислорода.
3.6. Свойства оксидных пленок, полученных при термическом окислении кремния в постоянном и переменном электрических полях . . . НО
3.7. Механизм термического окисления кремния
3.8. Перспективы исследования топохимических реакций в электрическом поле для расшифровки механизма процессов окисления полупроводников и металлов.
ВЫВОДЫ.
ЖТШОТРА.