catalog / TECHNICAL SCIENCES / Solid-state electronics, radio electronic components, micro- and nanoelectronics, devices based on q
скачать файл: 
- title:
- Васильев, Андрей Георгиевич. Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники
- university:
- Рос. академия наук
- The year of defence:
- 1995
- brief description:
- Васильев, Андрей Георгиевич. Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 / Рос. академия наук.- Москва, 1995.- 35 с.: ил. РГБ ОД, 9 95-5/122-9
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб