Вавилин Константин Викторович. Моделирование высокочастотных индуктивных источников плазмы малой мощности
The number of pages:
200
university:
Москва
The year of defence:
2005
brief description:
Вавилин Константин Викторович. Моделирование высокочастотных индуктивных источников плазмы малой мощности : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08.- Москва, 2005.- 123 с.: ил. РГБ ОД, 61 06-1/203