catalog / TECHNICAL SCIENCES / Instrumentation technology
скачать файл: 
- title:
- Великовский Илья Эдуардович. Исследование и разработка технологического процесса изготовления субмикронных затворов гетероструктурных СВЧ транзисторов методом контактной фотолитографии
- university:
- Моск. гос. ун-т приборостроения и информатики
- The year of defence:
- 2009
- brief description:
- Великовский Илья Эдуардович. Исследование и разработка технологического процесса изготовления субмикронных затворов гетероструктурных СВЧ транзисторов методом контактной фотолитографии : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14 / Великовский Илья Эдуардович; [Место защиты: Моск. гос. ун-т приборостроения и информатики].- Москва, 2009.- 165 с.: ил. РГБ ОД, 61 09-5/2673
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб