catalog / Physics and mathematics / physical Electronics
скачать файл: 
- title:
- Заблоцкий Алексей Васильевич. Особенности измерений линейных размеров субмикронных структур методом растровой электронной микроскопии
- university:
- Моск. физ.-техн. ин-т (гос. ун-т)
- The year of defence:
- 2009
- brief description:
- Заблоцкий Алексей Васильевич. Особенности измерений линейных размеров субмикронных структур методом растровой электронной микроскопии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04 / Заблоцкий Алексей Васильевич; [Место защиты: Моск. физ.-техн. ин-т (гос. ун-т)].- Долгопрудный, 2009.- 129 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-1/255
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб