РОЗРОБКА ВИСОКОТЕПЛОПРОВІДНИХ ПІДКЛАДОК БАГАТОКРИСТАЛЬНИХ МІКРОЗБІРОК ДЛЯ РОБОТИ В ЕКСТРЕМАЛЬНИХ УМОВАХ



Название:
РОЗРОБКА ВИСОКОТЕПЛОПРОВІДНИХ ПІДКЛАДОК БАГАТОКРИСТАЛЬНИХ МІКРОЗБІРОК ДЛЯ РОБОТИ В ЕКСТРЕМАЛЬНИХ УМОВАХ
Тип: Автореферат
Краткое содержание:

 


ОСНОВНИЙ ЗМІСТ


У вступі обґрунтовано актуальність теми дисертаційної роботи, сформульовано мету і задачі досліджень, відзначено наукову новизну та практичне значення отриманих результатів, наведено відомості про особистий внесок здобувача та апробацію наукових результатів.


Перший розділ має оглядовий характер. Розглянуто та систематизовано сучасний стан розробок в області багатокристальних мікрозбірок, обґрунтований вибір матеріалів підкладок для роботи в екстремальних умовах високих механічних та теплових навантажень. Розглянуто останні досягення у галузі функціональних керамічних композитів на основі Si3N4 для застосувань у електроніці, а також недоліки, які вони мають, виходячи з умов виробництва чи експлуатації. Вивчено та систематизовано дані про існуючі на даний момент уявлення про електропровідність гетерогенних систем, зокрема, їх недоліки щодо практичного застосування. Розглянуті найбільш визначні роботи щодо електропровідності полікристалічних матеріалів на основі нітриду кремнію. В цьому розділі найбільш важливою є систематизація результатів досліджень електронної структура пасток в аморфних Si3N4, SiO2, Si2N2O та плівках аморфного Si. Проведено аналіз сучасних уявлень про релаксаційні процеси в діелектриках на змінному струмі в контексті досліджуваних матеріалів. Базуючись на методах імпедансної спектроскопії підібрана електрична модель мікроструктури керамічних композитів на основі нітриду кремнію. Всі підходи до опису електричних властивостей системи на постійному та змінному струмі оцінені як можливі методи неруйнуючого моніторингу мікроструктури.


У другому розділі проведені дослідження вихідних порошків, що дозволило оцінити вплив хімічного складу, наявних забруднень, дисперсності та морфології шихти в формування мікроструктури та фазового складу матеріалів в процесі спікання.


Заготовки зразків формували методом шарувато-градієнтної технології. Температурну обробку проводили методом гарячого пресування (ГП) під тиском 18 МПа в атмосфері повітря з варіацією параметрів (швидкості охолодження 10-90 ºC/хв, тривалості ізотермічної витримки 10-60 хв, температури ізотермічної витримки від 1570 до 1920 ºС), що дозволило встановити технологічні режими, які дозволяють отримувати підкладки із заданими функціональними характеристиками, а також основні закономірності керування фізичними властивостями композитів на основі нітриду кремнію шляхом зміни їх мікроструктури та фазового складу.


Гранулометричний склад вихідних порошків контролювався методом седиментаційного аналізу та досліджувався за допомогою приладу Analyzette–22. Морфологія зерен вихідних порошків вивчалась методами скануючої електронної мікроскопії (SEM). Фазовий склад вихідних порошків досліджували методом ретгенофазового аналізу в Cu-Кa-випромінюванні з фіксацією кута повороту 0,5° за допомогою дифрактометра ДРОН-3М. Густина спечених зразків визначалась методом гідростатичного зважування. Зображення мікроструктури спечених зразків були отримані з використанням оптичного мікроскопа “Неофот” та аналізатора забражень “Епіквант”. Методом комп’ютерного аналізу за допомогою аналізатора SIAMS-340 визначали наступні параметри мікроструктури: об’ємну частку провідних включень , їх питому поверхню  та середню відстань між ними.


В роботі проводилось моделювання величини коефіцієнту теплопровідності композитів на основі нітриду кремнію за існуючою тепловою моделлю структури з взаємнопроникними компонентами, що дозволило спрогнозувати з відхиленням від +40 до -10% теплопровідність спечених композитів; а у випадку виділення певної фази у вигляді замкнутих включень, як, наприклад, нітриду кремнію, оберненим розрахунком визначити ефективну теплопровідність цієї компоненти.


На основі існуючого методу зонду розроблена нова методика експериментального дослідження теплопровідності матеріалів за допомогою набору зондів, які відрізняються геометрією, тепловими та електричними характеристиками. Це розширило діапазон вимірювань та дозволило з відносно високою точністю (до ±20 %) визначати коефіцієнт теплопровідності зразків малого розміру з різною геометрією і шорсткістю поверхні в стаціонарних умовах.


Вимірювання опору зразків на постійному струмі в діапазоні від 0,1 до 1,1∙107 Ом проводилось мостовим методом (міст Р577) та методом вольтметра-амперметра (вольтметр APPA-207, амперметр FLUKE – 189), в діапазоні від 106 до 1014 Ом – за допомогою тераомметра Е6–13А. Вимірювання діелектричної проникності і тангенса кута діелектричних втрат в діапазоні частот 100 Гц – 100 кГц проводилось мостовим методом (вимірювач RCL MIT 9216А), на частотах 50 КГц–10 МГц – методом Q–метра (ВМ 560). Вимірювання температурних залежностей опору і діелектричних характеристик проводили протягом кількох циклів нагрівання та охолодження в діапазоні температур 20 – 600 (800) ºС, занурюючи мідну притискну вимірювальну комірку у термостат з термопарою.


На основі визначення енергії активації, діелектричного відгуку та побудові електричних моделей структури запропонований та теоретично обґрунтований метод моніторингу мікроструктури нітридокремнієвої кераміки що дає нові знання про електричні методи неруйнуючого моніторингу.


На основі розрахованих інструментальних похибок та похибок вимірювання електрофізичних характеристик зразків встановлено, що з найбільшою похибкою визначались результати непрямих вимірювань, які зазнавали впливу зовнішнього середовища та фізичних явищ, яких неможливо було уникнути (такі як коефіцієнт теплопровідності (до ±20 %)) та величини з великим числовим значенням (опір діелектриків на постійному струмі (до ±15 %)). Результати прямих вимірювань, особливо величин з малим числовим значенням, визначались з високою точністю (пористість, діелектричні характеристики (до ±0,05%)).


В третьому розділі проведено визначення складу шихти та технології отримання матеріалів на основі нітриду кремнію для підкладок з найбільшою теплопровідністю. Досліджувані керамічні композити на основі нітриду кремнію містили у якості основних активуючих ущільнення та спікання добавок оксиди алюмінію і магнію у кількості від 5 до 13 об.%. Додатково вводились: TiH2, TiO2, TiN, HfN, TaN, VN, ZrN, ZrC, SiC у кількості від 0,1 до 30 об.%. Тривалість ізотермічної витримки складала 10, 20, 35, 50, 60 хв.


 


За експериментальними значеннями теплопровідності матеріалів на основі теплової моделі структури з взаємнопроникними компонентами оберненим розрахунком була оцінена величина теплопровідності нітриду кремнію. Вона складала 49-53 Вт/(м∙К), що узгоджується з величинами, наведеними в літературі.

 


Обновить код

Заказать выполнение авторской работы:

Поля, отмеченные * обязательны для заполнения:


Заказчик:


ПОИСК ДИССЕРТАЦИИ, АВТОРЕФЕРАТА ИЛИ СТАТЬИ


Доставка любой диссертации из России и Украины