Каталог / ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИЕ НАУКИ / Физика
скачать файл:
- Название:
- Дворецкая Лилия Николаевна. Теоретическое и экспериментальное исследование микросферной фотолитографии на подложках кремния для селективной эпитаксии полупроводниковых структур
- ВУЗ:
- ФГБУН Институт аналитического приборостроения Российской академии наук
- Краткое описание:
- Дворецкая Лилия Николаевна. Теоретическое и экспериментальное исследование микросферной фотолитографии на подложках кремния для селективной эпитаксии полупроводниковых структур;[Место защиты: ФГБУН Институт аналитического приборостроения Российской академии наук], 2021
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб