Замчий Александр Олегович. Синтез кремнийсодержащих структур методом газоструйного химического осаждения с активацией электронно-пучковой плазмой :



  • Название:
  • Замчий Александр Олегович. Синтез кремнийсодержащих структур методом газоструйного химического осаждения с активацией электронно-пучковой плазмой
  • Кол-во страниц:
  • 174
  • ВУЗ:
  • Институт теплофизики им.С.С.Кутателадзе СО РАН
  • Год защиты:
  • 2015
  • Краткое описание:
  • Замчий Александр Олегович. Синтез кремнийсодержащих структур методом газоструйного химического осаждения с активацией электронно-пучковой плазмой: диссертация ... кандидата физико-математических наук: 01.04.14 / Замчий Александр Олегович;[Место защиты: Институт теплофизики им.С.С.Кутателадзе СО РАН].- Новосибирск, 2015.- 174 с.
  • Список литературы:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


ПОИСК ДИССЕРТАЦИИ, АВТОРЕФЕРАТА ИЛИ СТАТЬИ


Доставка любой диссертации из России и Украины