Каталог / ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИЕ НАУКИ / Физика конденсированного состояния
- Название:
- Голованов Антон Владимирович. Травление планарных структур «алмаз-металл» и «алмаз-диэлектрик» высокочастотным газовым разрядом низкого давления
- ВУЗ:
- ФГБУ «Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт»
- Краткое описание:
- Голованов Антон Владимирович. Травление планарных структур «алмаз-металл» и «алмаз-диэлектрик» высокочастотным газовым разрядом низкого давления;[Место защиты: ФГБУ «Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт»], 2021
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб