Каталог / ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИЕ НАУКИ / Физика приборов, элементов и систем
скачать файл:
- Название:
- Тарасов Иван Анатольевич. РАЗВИТИЕ МЕТОДИКИ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ НАНОСТРУКТУР Fe/Si В ПРОЦЕССЕ РОСТА
- ВУЗ:
- Институт физики им.Л.В.Киренского СО РАН http://kirensky.ru/ru/councils/dis
- Краткое описание:
- Тарасов Иван Анатольевич. РАЗВИТИЕ МЕТОДИКИ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ НАНОСТРУКТУР Fe/Si В ПРОЦЕССЕ РОСТА: диссертация ... кандидата физико-математических наук: 01.04.01 / Тарасов Иван Анатольевич;[Место защиты: Институт физики им.Л.В.Киренского СО РАН http://kirensky.ru/ru/councils/dis].- Красноярск, 2014.- 137 с.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб