Каталог / ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИЕ НАУКИ / Физика ядра, элементарных частичек и высоких энергий
скачать файл:
- Название:
- Иванов Владимир Викторович. Исследование эффектов оптической близости и разработка методов их коррекции для критических литографических слоев технологии производства СБИС проектных норм 65 нм
- ВУЗ:
- ФГБУН Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук
- Краткое описание:
- Иванов Владимир Викторович. Исследование эффектов оптической близости и разработка методов их коррекции для критических литографических слоев технологии производства СБИС проектных норм 65 нм;[Место защиты: ФГБУН Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук], 2021
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб