Каталог / ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИЕ НАУКИ / Физическая электроника
- Название:
- Нагель, Михаил Юрьевич. Моделирование формирования структур осаждаемых пленок и образования пыли в плазменных установках
- ВУЗ:
- Нац. исслед. центр "Курчатовский институт"
- Краткое описание:
- Нагель, Михаил Юрьевич. Моделирование формирования структур осаждаемых пленок и образования пыли в плазменных установках : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04 / Нагель Михаил Юрьевич; [Место защиты: Нац. исслед. центр "Курчатовский институт"].- Москва, 2013.- 116 с.: ил. РГБ ОД, 61 13-1/703
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб