Каталог / ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИЕ НАУКИ / Физическая электроника
- Название:
- Песков, Вадим Вячеславович. Низкоэнергетическое травление в пучково-плазменном разряде как метод создания материалов и структур наноэлектроники
- ВУЗ:
- Ин-т радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
- Краткое описание:
- Песков, Вадим Вячеславович. Низкоэнергетическое травление в пучково-плазменном разряде как метод создания материалов и структур наноэлектроники : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04 / Песков Вадим Вячеславович; [Место защиты: Ин-т радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН].- Фрязино, 2012.- 121 с.: ил. РГБ ОД, 61 12-1/558
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб