Арсенин Алексей Владимирович. Моделирование источников плазмы для современных технологий микроэлектроники
Кол-во страниц:
200
ВУЗ:
Долгопрудный
Год защиты:
2005
Краткое описание:
Арсенин Алексей Владимирович. Моделирование источников плазмы для современных технологий микроэлектроники : Дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.04 : Долгопрудный, 2005 123 c. РГБ ОД, 61:05-1/1133