Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами
скачать файл:
- Название:
- Касьянов, Александр Александрович. Автоматизированная система управления дуговым источником многозарядных ионов с подогревным катадом и катодным распылением рабочего вещества
- Краткое описание:
- Касьянов, Александр Александрович. Автоматизированная система управления дуговым источником многозарядных ионов с подогревным катадом и катодным распылением рабочего вещества : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.07 / Инж.-физ. ин-т.- Москва, 1993.- 19 с.: ил. РГБ ОД, 9 93-1/471-2
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб