Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Вакуумная, плазмовая и квантовая электроника
- Название:
- Лопатин, Илья Викторович. Генерация объемной плазмы в разрядах низкого давления с полым катодом для азотирования поверхности металлов
- ВУЗ:
- Ин-т сильноточ. электроники
- Краткое описание:
- Лопатин, Илья Викторович. Генерация объемной плазмы в разрядах низкого давления с полым катодом для азотирования поверхности металлов : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.02 / Лопатин Илья Викторович; [Место защиты: Ин-т сильноточ. электроники].- Томск, 2013.- 161 с.: ил. РГБ ОД, 61 14-5/1429
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб