Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Вакуумная, плазмовая и квантовая электроника
- Название:
- Комлев, Андрей Евгеньевич. Технология осаждения пленок оксида тантала методом реактивного магнетронного распыления
- ВУЗ:
- С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т (ЛЭТИ)
- Краткое описание:
- Комлев, Андрей Евгеньевич. Технология осаждения пленок оксида тантала методом реактивного магнетронного распыления : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.02 / Комлев Андрей Евгеньевич; [Место защиты: С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т (ЛЭТИ)].- Санкт-Петербург, 2011.- 166 с.: ил. РГБ ОД, 61 12-5/261
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб