Комлев, Андрей Евгеньевич. Технология осаждения пленок оксида тантала методом реактивного магнетронного распыления :



  • Название:
  • Комлев, Андрей Евгеньевич. Технология осаждения пленок оксида тантала методом реактивного магнетронного распыления
  • Кол-во страниц:
  • 200
  • ВУЗ:
  • С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т (ЛЭТИ)
  • Год защиты:
  • 2011
  • Краткое описание:
  • Комлев, Андрей Евгеньевич. Технология осаждения пленок оксида тантала методом реактивного магнетронного распыления : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.02 / Комлев Андрей Евгеньевич; [Место защиты: С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т (ЛЭТИ)].- Санкт-Петербург, 2011.- 166 с.: ил. РГБ ОД, 61 12-5/261
  • Список литературы:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


ПОИСК ДИССЕРТАЦИИ, АВТОРЕФЕРАТА ИЛИ СТАТЬИ


Доставка любой диссертации из России и Украины