Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Вакуумная, плазмовая и квантовая электроника
- Название:
- Соловьев Андрей Александрович. Устройства со скрещенными электрическим и магнитным полями для нанесения тонкопленочных покрытий на подложки большой площади
- Краткое описание:
- Соловьев Андрей Александрович. Устройства со скрещенными электрическим и магнитным полями для нанесения тонкопленочных покрытий на подложки большой площади : дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 Томск, 2007 212 с. РГБ ОД, 61:07-5/2360
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб