Шахно Елена Аркадьевна. Физико-технологические основы лазерной обработки систем пленка-подложка
Кол-во страниц:
291
ВУЗ:
Санкт-Петербург
Год защиты:
2002
Краткое описание:
Шахно Елена Аркадьевна. Физико-технологические основы лазерной обработки систем пленка-подложка : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.03.- Санкт-Петербург, 2002.- 291 с.: ил. РГБ ОД, 71 03-5/41-3