Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ
- Название:
- Хоботнев Олег Юрьевич. Математическая модель формирования сплошных тонких пленок центрифугированием в производстве элементной базы микроэлектроники
- Краткое описание:
- Хоботнев Олег Юрьевич. Математическая модель формирования сплошных тонких пленок центрифугированием в производстве элементной базы микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.18.- Воронеж, 2006.- 152 с.: ил. РГБ ОД, 61 07-5/379
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб