Хоботнев Олег Юрьевич. Математическая модель формирования сплошных тонких пленок центрифугированием в производстве элементной базы микроэлектроники



  • Название:
  • Хоботнев Олег Юрьевич. Математическая модель формирования сплошных тонких пленок центрифугированием в производстве элементной базы микроэлектроники
  • Кол-во страниц:
  • 200
  • ВУЗ:
  • Воронеж
  • Год защиты:
  • 2006
  • Краткое описание:
  • Хоботнев Олег Юрьевич. Математическая модель формирования сплошных тонких пленок центрифугированием в производстве элементной базы микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.18.- Воронеж, 2006.- 152 с.: ил. РГБ ОД, 61 07-5/379
  • Список литературы:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


ПОИСК ДИССЕРТАЦИИ, АВТОРЕФЕРАТА ИЛИ СТАТЬИ


Доставка любой диссертации из России и Украины