Золотаревский Сергей Юрьевич. Методы и средства интерферометрии высокого разрешения для обеспечения единства измерений геометрических параметров рельефа и шероховатости поверхности в нанометровом диапазоне



  • Название:
  • Золотаревский Сергей Юрьевич. Методы и средства интерферометрии высокого разрешения для обеспечения единства измерений геометрических параметров рельефа и шероховатости поверхности в нанометровом диапазоне
  • Кол-во страниц:
  • 238
  • ВУЗ:
  • ФГУП "ВНИИМС"
  • Год защиты:
  • 2010
  • Краткое описание:
  • Золотаревский Сергей Юрьевич. Методы и средства интерферометрии высокого разрешения для обеспечения единства измерений геометрических параметров рельефа и шероховатости поверхности в нанометровом диапазоне : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.15 / Золотаревский Сергей Юрьевич; [Место защиты: ФГУП "ВНИИМС"].- Москва, 2010.- 238 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-5/2609
  • Список литературы:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


ПОИСК ДИССЕРТАЦИИ, АВТОРЕФЕРАТА ИЛИ СТАТЬИ


Доставка любой диссертации из России и Украины