Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Нанотехнологии и наноматериалы(по отраслям)
- Название:
- Руденко Михаил Константинович. Математическое моделирование процесса криогенного плазменного травления высокоаспектных микроструктур в кремнии
- ВУЗ:
- ФГБОУ ВО «МИРЭА - Российский технологический университет»
- Краткое описание:
- Руденко Михаил Константинович. Математическое моделирование процесса криогенного плазменного травления высокоаспектных микроструктур в кремнии;[Место защиты: ФГБОУ ВО «МИРЭА - Российский технологический университет»], 2023
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб