Ван Аймин. Исследование методов контроля параметров слоев в процессе осаждения многослойных систем
Кол-во страниц:
200
ВУЗ:
СПб
Год защиты:
2006
Краткое описание:
Ван Аймин. Исследование методов контроля параметров слоев в процессе осаждения многослойных систем : дис. ... канд. техн. наук : 05.11.07 СПб., 2006 119 с. РГБ ОД, 61:06-5/3832