Завьялова Марина Андреевна Разработка и исследование оптических высокоразрешающих датчиков контроля положения рабочих поверхностей для оперативного управления лазерными технологическими процессами

Краткое описание

Завьялова Марина Андреевна Разработка и исследование оптических высокоразрешающих датчиков контроля положения рабочих поверхностей для оперативного управления лазерными технологическими процессами
ОГЛАВЛЕНИЕ ДИССЕРТАЦИИ
кандидат наук Завьялова Марина Андреевна
ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1 ОБЗОР ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННЫХ БЕСКОНТАКТНЫХ

ДАТЧИКОВ ДЛЯ ПРЕЦИЗИОННОГО КОНТРОЛЯ ПОЛОЖЕНИЯ ОБЪЕКТОВ

ПРИ СИНТЕЗЕ МИКРО- И НАНОСТРУКТУР НА ИХ ПОВЕРХНОСТИ

1.1 Синтез микро- и наноструктур на 3D поверхностях

1.2 Основные технические требования к датчикам контроля положения объектов

1.3 Методы и системы контроля положения поверхности в системах автоматической фокусировки лазерных технологических комплексов

ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ

ГЛАВА 2 РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ ДАТЧИКА

АВТОМАТИЧЕСКОЙ ФОКУСИРОВКИ НА ОСНОВЕ НОЖА ФУКО ДЛЯ

КРУГОВЫХ ЛАЗЕРНЫХ ЗАПИСЫВАЮЩИХ СИСТЕМ

2.1 Структурная схема круговых лазерных записывающих систем

2.2 Результаты моделирования и расчета датчика автоматической фокусировки на основе ножа Фуко

2.3 Экспериментальные исследования погрешности определения положения поверхности объекта датчиком автоматической фокусировки

2.4 Круговые лазерные записывающие системы с использованием датчика автоматической фокусировки на основе ножа Фуко

2.5 Экспериментальные результаты по синтезу дифракционных оптических элементов на круговых лазерных записывающих системах с использованием датчика автоматической фокусировки с ножом Фуко

ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ

ГЛАВА 3 РАЗРАБОТКА ВОЛОКОННОГО КОНФОКАЛЬНОГО ДАТЧИКА

НА ОСНОВЕ МЕТОДА ХРОМАТИЧЕСКОГО КОДИРОВАНИЯ

3.1 Конфокальный датчик на основе рефракционно-дифракционных объективов и цветной видеокамеры

3.1.1 Расчет рефракционно-дифракционных объективов

3.1.2 Анализатор спектра на основе цветной видеокамеры

3.2 Экспериментальные исследования конфокального датчика с использованием цветной видеокамеры и рефракционно-дифракционных объективов

3.2.1 Исследование погрешностей конфокального датчика

3.3 Расчет гиперхроматических объективов для конфокальных датчиков поверхности

3.3.1 Повышение разрешения конфокального датчика

3.3.2 Экспериментальные исследования конфокального датчика с использованием гиперхроматических объективов и спектрометра

3.3.3 Исследование погрешностей конфокального датчика при аподизации гиперхроматического объектива

3.4 Ближнепольная сканирующая приставка

ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ

ГЛАВА 4 ОПЕРАТИВНЫЙ КОНТРОЛЬ ТЕХНОЛОГИИ ПРЯМОГО ЛАЗЕРНОГО ПРЕЦИЗИОННОГО СИНТЕЗА МИКРО- И НАНОСТРУКТУР НА ОПТИЧЕСКИ ПРОЗРАЧНЫХ ПОВЕРХНОСТЯХ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ДАТЧИКА ШАКА-ГАРТМАНА

4.1 Микроструктурирование оптически прозрачных сред с помощью лазерной абляции с использованием ультракоротких импульсов пикосекундной длительности

4.2 Способ контроля качества фокусировки лазерного пучка с помощью анализатора волнового фронта Шака-Гартмана

4.3 Экспериментальные исследования прямого контролируемого профилирования оптических прозрачных сред с использованием датчика Шака-

Гартмана

4.3.1 Формирование цилиндрических отверстий в кварцевом стекле лазерным пучком с особой формой распределения интенсивности, сформированных средствами дифракционной оптики

ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

СПИСОК СОКРАЩЕНИЙ И УСЛОВНЫХ ОБОЗНАЧЕНИЙ

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

ПРИЛОЖЕНИЕ «А» АКТЫ ВНЕДРЕНИЯ И СПРАВКА ОБ ИСПОЛЬЗОВАНИИ РЕЗУЛЬТАТОВ ДИССЕРТАЦИОННОЙ РАБОТЫ В НАУЧНЫХ ЦЕНТРАХ

ПРИЛОЖЕНИЕ «Б» АКТЫ ВНЕДРЕНИЯ И ИСПОЛЬЗОВАНИЯ РЕЗУЛЬТАТОВ ДИССЕРТАЦИОННОЙ РАБОТЫ НА ПРОМЫШЛЕННЫХ ПРЕДПРИЯТИЯХ

ВВЕДЕНИЕ