ПІДВИЩЕННЯ ТОЧНОСТІ ПОЗИЦІЮВАННЯ МІКРОМАНІПУЛЯЦІЙНИХ П’ЄЗОЕЛЕКТРИЧНИХ СИСТЕМ : ПОВЫШЕНИЕ ТОЧНОСТИ ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ МИКРОМАНИПУЛЯЦИОННЫХ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СИСТЕМ



  • Название:
  • ПІДВИЩЕННЯ ТОЧНОСТІ ПОЗИЦІЮВАННЯ МІКРОМАНІПУЛЯЦІЙНИХ П’ЄЗОЕЛЕКТРИЧНИХ СИСТЕМ
  • Альтернативное название:
  • ПОВЫШЕНИЕ ТОЧНОСТИ ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ МИКРОМАНИПУЛЯЦИОННЫХ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СИСТЕМ
  • Кол-во страниц:
  • 205
  • ВУЗ:
  • Київський політехнічний інститут
  • Год защиты:
  • 2013
  • Краткое описание:
  • Міністерство освіти і науки, молоді та спорту України
    Національний технічний університет України
    „Київський політехнічний інститут”


    ПРИХОДЬКО Альона Вікторівна

    УДК 621.13.0

    ПІДВИЩЕННЯ ТОЧНОСТІ ПОЗИЦІЮВАННЯ МІКРОМАНІПУЛЯЦІЙНИХ П’ЄЗОЕЛЕКТРИЧНИХ СИСТЕМ


    Спеціальність: 05.11.01
    Прилади та методи вимірювання механічних величин


    Дисертація
    на здобуття наукового ступеня
    кандидат технічних наук

    ,

    Науковий керівник:
    Антонюк Віктор Степанович
    доктор технічних наук
    професор



    Київ 2013






    ЗМІСТ

    ВСТУП .............................................................................................................
    7

    РОЗДІЛ 1. АНАЛІЗ МІКРОМАНІПУЛЯЦІЙНИХ СИСТЕМ ....................


    13




    1.1. Мікроманіпуляційні системи для клітинних технологій ...........


    14




    1.2. Особливості роботи мікроманіпуляційних систем з двигунами обертального руху ..........................................................................................



    16




    1.3. Мікроманіпуляційні системи з п’єзоелектричним двигуном обертального руху ...........................................................................................



    17




    1.4. Лінійні направляючі мікроманіпуляційних систем ....................


    19




    1.5. Методи вимірювання переміщень лінійних направляючих ......


    23




    1.6. Методи відеовимірювань переміщень .........................................


    28




    1.7. Висновки та рекомендації до розділу 1........................................


    34












    РОЗДІЛ2.МЕТОДОЛОГІЯВИМІРЮВАННЯПАРАМЕТРІВ МІКРОПЕРЕМІЩЕНЬЛІНІЙНИХНАПРАВЛЯЮЧИХ П’ЄЗОЕЛЕКТРИЧНИХ МІКРОМАНІПУЛЯЦІЙНИХ СИСТЕМ ............




    35




    2.1. Обґрунтування та вибір об’єктів дослідження ...........................


    35




    2.1.1. Лінійна направляюча мікроманіпуляційних систем з п’єзоелектричним двигуном ..........................................................................



    36




    2.1.2. П’єзоелектричний двигун ................................................


    36




    2.1.3. Кутовий датчик зворотного зв’язку (енкодер) ...............


    38




    2.2. Основні параметри мікропереміщень лінійних направляючих


    38




    2.2.1. Масштабний коефіцієнт ...................................................


    39




    2.2.2. Модуляційна характеристика ..........................................


    38




    2.2.3. Мертвий хід та гістерезис ................................................


    40




    2.2.4. Кутові переміщення Pitch (θу) та Yaw (θz) ....................


    41




    2.3. Основні характеристики п’єзоелектричного двигуна з датчиком зворотного зв’язку .........................................................................



    42




    2.3.1. Точність позиціювання п’єзоелектричного двигуна .....


    42




    2.3.2. Крокові характеристики ...................................................


    43




    2.3.3. Навантажувальні характеристики ...................................


    43




    2.4. Загальна методика дослідження ...................................................


    44




    2.4.1. Структура загальної методики дослідження ..


    44




    2.4.2. Прилади та пристрої, використані для проведення досліджень ...



    46




    2.5. Методики дослідження параметрів мікропереміщень направляючих з п’єзоелектричним двигуном ..............................................



    48




    2.5.1. Методика дослідження масштабного коефіцієнту лінійної направляючої ................................................................................



    48




    2.5.2. Методика визначення модуляційної характеристики лінійної прецизійної направляючої з п’єзоелектричним двигуном ...........



    51




    2.5.3. Методика вимірювання лінійних і кутових переміщень ......................................................................................................



    52




    2.5.3.1. Методика та вимірювальний стенд для вимірювання лінійних переміщень ...............................................................



    53




    2.5.3.2. Методика та вимірювальний стенд для вимірювання кутових переміщень ........................................................



    55




    2.6. Методики вимірювання параметрів та характеристик п’єзоелектричного двигуна ............................................................................



    59




    2.6.1. Методика вимірювання точності позиціювання п’єзоелектричного двигуна ............................................................................



    59




    2.6.2. Методика вимірювання крокових характеристик п’єзоелектричного двигуна ............................................................................



    61




    2.6.3. Методика вимірювання навантажувальних характеристик п’єзоелектричного двигуна ..................................................



    62




    2.7. Метрологічні основи проведення експериментальних досліджень ...



    63




    2.7.1. Методичні похибки формування цифрового зображення ......................................................................................................



    65




    2.7.2. Інструментальні похибки засобів вимірювання ............


    67




    2.7.3. Похибки вимірювання параметрів мікропереміщень ...


    69




    2.8. Методика обробки експериментальних результатів ..................


    72




    2.8.1. Послідовність перетворення відеоінформації ...............


    72




    2.8.2. Обробка експериментальних результатів ......................


    73




    2.8.2.1. Методика накопичення і обробки відеоінформації ...............................................................................................



    74




    2.8.2.2. Математична обробка експериментальних результатів........................................................................................................



    75




    2.9. Висновки та рекомендації до розділу 2 .......................................


    78












    РОЗДІЛ3. ДИНАМІЧНАМОДЕЛЬМІКРОМАНІПУЛЯЦІЙНОЇ СИСТЕМИ З П’ЄЗОЕЛЕКТРИЧНИМ ДВИГУНОМ ..



    80




    3.1. Структурна схема мікроманіпуляційних систем з п’єзоелектричним двигуном для клітинних технологій .............................



    80




    3.2. Динамічна модель п’єзоелектричної направляючої мікроманіпуляційних систем .........................................................................



    81




    3.3. Числове рішення рівняння динамічної моделі направляючої мікроманіпуляційної системи з п’єзоелектричним двигуном



    91




    3.4. Висновки та рекомендації до розділу 3 .......................................


    97












    РОЗДІЛ 4. МАТЕМАТИЧНА МОДЕЛЬ ЛІНІЙНОГО ПЕРЕМІЩЕННЯ РОБОЧОГО ІНСТРУМЕНТУ МІКРОМАНІПУЛЯЦІЙНИХ СИСТЕМ ...



    99




    4.1. Математична модель переміщення лінійних направляючих мікроманіпуляційних систем з п’єзоелектричним двигуном ....................



    99




    4.1.1. Математична модель впливу нестабільності масштабного коефіцієнту на лінійне переміщення направляючої ............



    100




    4.1.2. Математична модель впливу модуляційної характеристики на лінійне переміщення направляючої .............................



    101




    4.1.3. Математична модель впливу мертвого ходу на лінійне переміщення направляючої ...........................................................................



    101




    4.1.4. Математична модель впливу на лінійне переміщення направляючої кутових відхилень від прямолінійності Pitch та Yaw .........



    102




    4.1.5. Математична модель переміщення лінійних направляючих мікроманіпуляційних систем з п’єзоелектричним двигуном ..........................................................................................................




    106




    4.2. Математична модель переміщення лінійних мікроманіпуляційних систем з п’єзоелектричним двигуном .....................



    109




    4.3. Висновки та рекомендації до розділу 4 .......................................


    116












    РОЗДІЛ5.ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНІДОСЛІДЖЕННЯ ПЕРЕМІЩЕНЬ МІКРОМАНІПУЛЯЦІЙНИХСИСТЕМЗ П’ЄЗОЕЛЕКТРИЧНИМ ДВИГУНОМ ...........................................................................




    117




    5.1. Опис досліджуваної п’єзоелектричної мікроманіпуляційної системи для клітинних технологій ................................................................



    117




    5.2. Опис основних виконавчих елементів п’єзоелектричних мікроманіпуляційних систем для клітинних технологій ............................



    118




    5.3. Експериментальні результати вимірювання параметрів переміщень лінійних направляючих з п’єзоелектричним двигуном .........



    122




    5.3.1. Дослідження масштабного коефіцієнту .........................


    123




    5.3.2. Дослідження модуляційної характеристики ..................


    126




    5.3.3. Дослідження мертвого ходу та гістерезису ....................


    127




    5.3.4. Дослідження кутових переміщень Pitch (θу) та Yaw(θz) ............................................................................................................



    132




    5.4. Експериментальні дослідження параметрів п’єзоелектричного двигуна .............................................................................................................



    137




    5.4.1. Дослідження точності позиціювання п’єзоелектричного двигуна ............................................................................



    137




    5.4.2. Дослідження крокових характеристик п’єзоелектричного двигуна ............................................................................



    141




    5.4.3. Дослідження частотних і навантажувальних характеристик п’єзоелектричного двигуна ..................................................



    142




    5.5. Висновки та рекомендації до розділу 5 ......................................


    144












    РОЗДІЛ6.МОДЕЛЮВАННЯЛІНІЙНИХПЕРЕМІЩЕНЬ ТРИОСЬОВОЇМІКРОМАНІПУЛЯЦІЙНОЇСИСТЕМИЗ П’ЄЗОЕЛЕКТРИЧНИМ ДВИГУНОМ .........................................................




    145




    6.1. Дослідження динамічної моделі лінійної направляючої ...........


    145




    6.2. Моделювання реального переміщення направляючої мікроманіпуляційних систем .........................................................................



    148




    6.3. Дослідження математичної моделі реальних переміщень триосьової мікроманіпуляційної системи ....................................................



    151




    6.4. Висновки та рекомендації до розділу 6 .......................................


    157



    ВИСНОВКИ ....................................................................................................


    159




    СПИСОК ВИКОРИСТАНИХ ДЖЕРЕЛ .......................................................


    161




    Додаток А Текст програми за методом найменших квадратів....................


    178




    Додаток Б. Дослідження функції масштабного коефіцієнту ......................


    183




    Додаток В. Дослідження модуляційної характеристики ............................


    184




    Додаток Г. Дослідження мертвого ходу .......................................................


    186




    Додаток Д. Дослідження кутових відхилень Pitch та Yaw .........................


    188




    Додаток Е. Дослідження точності позиціювання п’єзоелектричного двигуна .............................................................................................................



    194




    Додаток Є. Дослідження крокових характеристик п’єзоелектричного двигуна .............................................................................................................



    197




    Додаток Ж. Дослідження частотних та навантажувальних характеристик п’єзоелектричного двигуна ..................................................



    198




    Додаток З. Дослідження динамічної моделі .................................................


    200




    Додаток И. Акти впровадження результатів роботи ...
    204







    ВСТУП


    Актуальність теми. За світовими прогнозами, найближче десятиліття стане епохою нанотехнологій третьою науково-технічною революцією, яка визначить «обличчя» нинішнього століття, як епоха великих відкриттів в галузі клітинних механізмів фізіологічних процесів і подальшого розвитку клітинних мікротехнологій (біотехнології, генної інженерії, репродуктивної біології і медицини, нейробіології, мікрофізіології тощо). Подальший розвиток таких технологій потребує високоточних пристроїв, приладів та систем, які дозволяють маніпулювати мікрооб’єктами в мікронних та субмікронних діапазонах. Окрім того, такі прилади необхідні в таких галузях, як мікроелектроніка (MEMS технології), напівпровідникові технології, фотолітографія, фотоніка, мікровиробництво.
    Найбільш перспективними способами переміщення в нанопросторі є мікроманіпуляційні системи на базі п’єзоелектричних двигунів. Технічні характеристики таких двигунів дозволяють створювати: жорсткі безлюфтові безредукторні електромеханічні виконавчі механізми з низькою швидкістю обертання і переміщення; електромеханічні пристрої, які ефективно замінюють силові електроприводи, електромагніти та інші електромеханічні пристрої.
    Крім того, використання п’єзоелектричних двигунів в мікроманіпуляційних системах забезпечує плавну зміну швидкості в широкому діапазоні, формування траєкторії програмованого руху у мікропросторі, дозволяє отримувати аксіальне переміщення під будь-яким кутом, виконувати програмований „удар”, наприклад, для проколювання мембрани клітини, а також, що особливо важливо, здійснювати позиціювання з високою точністю за відсутності дрейфу.
    Перехід на п’єзоелектричні двигуни відкриває нові потенційні можливості для мікроманіпуляційних систем. А це в свою чергу пред’являє нові вимоги щодо точності мікропереміщень до основної кінематичної ланки таких систем напрямної, яка трансформує параметри двигуна на робочий інструмент.
    Тому створення високоточних прецизійних мікроманіпуляційних систем з високоточними напрямними є життєво необхідним для реалізації мікротехнологій. Це обумовлює актуальність постановки задачі підвищення точності мікропереміщень п’єзоелектричних мікроманіпуляційних систем шляхом розроблення методики та побудови комп’ютеризованих засобів вимірювання лінійних та кутових переміщень їх складових елементів на основі використання сучасних засобів накопичення та обробки відеоінформації з подальшою її обробкою.
    Зв’язок роботи з науковими програмами, планами, темами. Робота виконувалась в Національному технічному університеті України „Київський політехнічний інститут” і пов’язана з:
    науково-дослідною роботою „Розробка інформаційно-діагностичного комплексу контролю автоматизованого технологічного процесу механічної обробки матеріалів” № 2454 п (номер держреєстрації 0111U000713); здобувачеві належить розділ 2, в якому розглянуто моделювання інформаційно-діагностичного комплексу; методика та засоби вимірювання і контролю параметрів мікропереміщень напрямних з інструментом;
    науково-дослідною роботою „Розробка документації на привод поляроїдного модулятора” ГАО КПІ 08/Т1 №407/2 здобувачеві належить обґрунтування та розроблення напрямної з п’єзоелектричним двигуном поляроїдного модулятора;
    науково-дослідною роботою „Виготовлення макета двигуна з порожнім ротором для поляроїдного модулятора для УФП” ГАО КПІ 08/Т1 №407/2; здобувачеві належить розділ 2, в якому розглянуто п’єзоелектричний двигун з порожнім ротором.
    Мета і завдання дослідження. Метою роботи є підвищення точності мікропереміщень п’єзоелектричних мікроманіпуляційних систем за рахунок врахування лінійних та кутових параметрів позиціювання напрямних.
    Для досягнення цієї мети необхідно розв’язати такі основні задачі:
    на основі аналізу проблеми обґрунтувати задачу вимірювання параметрів мікропереміщень лінійних мікроманіпуляційних систем з п’єзоелектричним двигуном та визначити основні параметри позиціювання таких систем;
    визначити вплив основних параметрів п’єзоелектричного двигуна з кутовим датчиком зворотного зв’язку на точність позиціювання напрямних мікроманіпуляційних систем;
    розробити математичну модель переміщень, які формує мікроманіпуляційна система з п’єзоелектричним двигуном та провести моделювання на ЕОМ основних режимів роботи мікроманіпуляційної системи;
    запропонувати динамічну модель лінійних напрямних мікроманіпуляційних систем з метою визначення точності їх позиціювання в нанодіапазоні;
    розробити методики та побудувати засоби вимірювання та контролю параметрів мікропереміщень напрямних мікроманіпуляційних систем;
    провести експериментальні дослідження параметрів мікропереміщень лінійних напрямних п’єзоелектричних мікроманіпуляційних систем;
    розробити рекомендації з підвищення точності позиціювання п’єзоелектричних мікроманіпуляційних систем.
    Об’єкт дослідження: мікропереміщення лінійних мікроманіпуляційних систем з п’єзоелектричним двигуном.
    Предмет дослідження: мікроманіпуляційні системи з п’єзоелектричним двигуном.
    Методи дослідження. Під час проведення теоретичних та експериментальних досліджень використовувалися: аналіз літературних джерел та даних Інтернету; методи формалізації, декомпозиції; методи відеовимірювання; положення теорії похибок; методи вищої та обчислювальної математики, зокрема положення диференціальних рівнянь; методи фізичного та математичного моделювання; теоретичні положення аналітичної геометрії; теорія вимірювань, методи математичної статистики та обробки експериментальних результатів.
    Визначення точності мікропереміщень мікроманіпуляціцних систем з п’єзоелектричним двигуном проводилось на основі синтезу отриманих експериментальних результатів та результатів математичного моделювання.
    Наукова новизна одержаних результатів:
    вперше розроблено динамічну модель напрямних мікроманіпуляційних систем з п’єзоелектричним двигуном на основі рівняння лінійного руху маси з врахуванням конструктивних особливостей напрямних, що дало можливість визначити лінійні переміщення рухомого столика напрямних в нанодіапазоні;
    створено нову математичну модель реального переміщення робочого інструменту триосьових мікроманіпуляційних систем (з врахуванням перехресних зв’язків, на базі теоретично-експериментальних даних), яка враховує лінійні та кутові параметри позиціювання напрямних і дає можливість спрогнозувати та компенсувати похибку на виході мікроманіпуляційної системи;
    розроблено нові методики вимірювання параметрів мікропереміщень п’єзоелектричних мікроманіпуляційних систем на основі методів та приладів відеовимірювання, що дозволяє проводити точні вимірювання в мікродіапазоні;
    вперше запропонована компенсаційна модель похибок на основі математичної моделі та експериментальних даних, що дозволило підвищити точність позиціювання робочих о рганів мікроманіпуляційних систем з п’єзоелектричним двигуном.
    Новизну отриманих рез
  • Список литературы:
  • ВИСНОВКИ


    В дисертаційній роботі вирішено завдання підвищення точності мікропереміщень виконавчих елементів п’єзоелектричних мікроманіпуляційних систем шляхом розроблення нової, більш вдосконаленої методики та побудови засобів вимірювання параметрів лінійних і кутових мікропереміщень виконавчих елементів таких систем. За результатами досліджень зроблено такі висновки:
    1. Забезпечено підвищення точності п’єзоелектричних мікроманіпуляційних систем шляхом використання нових вдосконалених методик вимірювання параметрів переміщень основних виконавчих елементів мікроманіпуляційних систем, які базуються на використанні методів відеовимірювання;
    2. Розроблено динамічну модель лінійних напрямних п’єзоелектричних мікроманіпуляційних систем, яка враховує конструктивні особливості таких напрямних та дозволяє визначити їх роздільну здатність та лінійні переміщення в нанодіапазоні в залежності від тривалості збудження п’єзоелектричного двигуна;
    3. Запропоновано математичну модель переміщень на виході п’єзоелектричної мікроманіпуляційної системи, яка враховує впливи лінійних і кутових параметрів позиціювання та особливості конструкції триосьової мікроманіпуляційної системи, а також компенсаційну математичну модель, застосування якої дозволяє зменшити похибку позиціювання мікроманіпуляційної систем з 10 до 1,5 мкм;
    4. Розроблено методики та побудовано засоби вимірювання параметрів лінійних та кутових мікропереміщень основних виконавчих елементів мікроманіпуляційних систем з п’єзоелектричним двигуном, які базуються на застосуванні мікроскопа та автоколіматора з використанням методів та засобів відеовимірювань, що дозволяє проводити безперервні вимірювання одночасно по двох координатах та накопичувати інформацію про переміщення для подальшої обробки;
    5. Визначено, що під час руху п’єзоелектричних напрямних відбувається повертання рухомого столика навколо осей Y та Z та його поступовий захил вверх-вниз або вліво-вправо, тобто кутові відхилення Pitch (θу) та Yaw (θz) від прямолінійності ходу, неврахування яких може внести в мікроманіпуляційну систему похибку, яка в залежності від довжини робочого інструменту досягає одиниць і навіть десятків мікрометрів;
    6. Проведено експериментальні дослідження переміщень виконавчих елементів лінійних напрямних п’єзоелектричних мікроманіпуляційних систем та виявлено діапазони їх основних похибок: похибки від нестабільності масштабного коефіцієнта порядку 3 мкм, похибки від неврахування модуляційної характеристики можуть досягати 1 мкм, похибки від „мертвого ходу” в системах, в яких присутнє явище реверсу, можуть досягати 3 мкм;
    7. Впровадження компенсаційних коефіцієнтів в лінійних напрямних п’єзоелектричних мікроманіпуляційних систем дозволило зменшити величини відхилень реальних переміщень від програмно заданих для різних координат переміщення до рівня 1,5 мкм, що підвищило точність позиціювання робочих інструментів мікроманіпуляційних п’єзоелектричних систем в 1,5-2 рази.







    СПИСОК ВИКОРИСТАНИХ ДЖЕРЕЛ

    1. Максимовский Л.Ф. Методы микроманипуляции и ультрамикроана-лиза в биологии и медецины / Л.Ф. Максимовский, Л.И. Микичур. Новосибирск: Наука. Сиб. отд-ние, 1989. 239 с.
    2. Офіційний сайт компанії „NARISHIGE” (JAPAN) http://www.narishige.co.jp/
    3. Фонбрюн Ф. Методы микроманипуляции / Фонбрюн Ф. М.: Иностр. лит., 1985. 164 с.
    4. Офіційний сайт компанії „MAHO” http://www.maho.com.tw/
    5. Офіційний сайт компанії „World Precision Instruments” (USA) http://www.wpiinc.com/
    6. Офіційний сайт компанії „LEITZ”(Germany) http://www.leitz.org/
    7. Офіційний сайт компанії „ZEISS” (USA) http://www.zeiss.com/
    8. Офіційний сайт компанії „Sutter Instrument Company” (USA) http://www.sutter.com/
    9. Пьезомоторизованный микроманипулятор для клеточных технологий PSF-3 [Електронний ресурс]. Режим доступу: http://piezomotor. com.ua/product/30
    10. Пат. 71044 Україна, МПК G02B21/32. Мікроманіпулятор / Петренко С.Ф.; заявник і власник патенту Петренко С.Ф. № 2002064866; заявл. 13.06.2002; опубл. 15.11.2004, Бюл. № 11.
    11. Электротехнический справочник; под ред. П.Г. Грудинского и др. М.: Энергия, 1974. Т.1. 448 с.
    12. Электрические машины / под ред. Петрова Г.Н. М.-Л., ГЭИ, 1940. 429 с.
    13. Копылов И.П. Электрические машины / Копылов И.П. М.: Логос, 2000. 115 с.
    14. Асинхронные двигатели серии 4А. Справочник / А.Э. Кравчик, М.М. Шлаф, В.И. Афонин, Е.А. Соболенская. М.: Энергоиздат, 1982. 366 с.
    15. Петренко С.Ф. Пьезоэлектрический двигатель в приборостроении/ Петренко С.Ф. К.: Корнійчук, 2002. 96 с.
    16. Пат. 67848 Україна, МПК H02N2/00. Спосіб формування кутових мікропереміщень вала п‘єзоелектричного двигуна та п‘єзоелектричний двигун, що його реалізує / Петренко С.Ф.; заявник і власник патенту Петренко С.Ф. № 2001128341; заявл. 05.12.2001; опубл. 16.06.2003, Бюл. № 8.
    17. V. Zhelyaskov. Long Travel Ranges and Accurate Angular Movement Create New Opportunities in Biomedical Manipulation Systems / V. Zhelyaskov, M. Broderick, A. Raphalovitz, B. Davies. IEEE CIRCUITS & DEVICES MAGAZINE, 2006, Nov/Dec. p. 75-78.
    18. A. Wilson. Piezoelectric Positioners Place Products Precisely / Vision Systems Design, 2006, July/ p. 45-49.
    19. NM3D Nanomanipulator [Електронний ресурс] // Discovery Technology International, LLLP 2006. Режим доступу до статті: http://www.dti-nanotech.com/docs/NM3D_Brochure.pdf
    20. Пьезоэлектрический мотор PМ-20R [Електронний ресурс]. Режим доступу: http://piezomotor.com.ua/product/20
    21. Piezoelectric Rotary Stage PRS-1 [Електронний ресурс] // Discovery Technology International, Publication # 53 [Online] 2006. Режим доступу до статті: http://www.dti-nanotech.com/docs/PRS-1_Brochure.pdf
    22. Angular-Linear Motorized Nanopositioning System RoboMateTM [Електронний ресурс] // Discovery Technology International, LLLP 2005. Режим доступу до статті: http://www.dti-nanotech.com/docs/RoboMate_Brochure.pdf
    23. RoboMate STX. Motorized Stereotaxic Instrument [Електронний ресурс] // Discovery Technology International, LLLP 2007. Режим доступу до статті: http://www.dti-nanotech.com/docs/RoboMate_STX.pdf
    24. P.J. Kelly. Introduction and historical aspects // Tumor Stereotaxis, Philadelphia, PA: Saunders, 1991.
    25. P.L. Gildenberg. Stereotactic surgery: Present and past // Stereotactic Neurosurgery, M. Peter Heilbrun, Ed. Baltimore, MD: Williams & Wilkins, 1988.
    26. Sabbatini. RME: Stereotactic neurosurgery [Електронний ресурс] // Brain Mind Mag., vol. 2, 1997 [Online], Режим доступу до статті: http://www.cerebromente.org.br/n02 /historia/psicocirg_i.htm
    27. NanoRobot-6AX Bench Top Robotic Nanopositioning system [Електронний ресурс] // Discovery Technology International, LLLP 2007. Режим доступу до статті: http://www.dti-nanotech.com/docs/AN6AX.pdf
    28. И.Я. Левин. Справочник конструктора точных приборов / И.Я. Левин. М.:Машиностроение, 1967. 600 с.
    29. Справочник конструктора точного приборостроения/под. ред. Ф. Л. Литвина. М. Л.: Машиностроение, 1964. 944 с.
    30. Прецизионные рельсовые направляющие [Електронний ресурс] // офіційний сайт компаніі SKF Group: http://www.skf.com/
    31. Прецизионные рельсовые направляющие//Режим доступу: http://www.bergab.ru/lmplineargides.shtml
    32. Прецизионные рельсовые линейные направляющие // Каталог продукции [Електронний ресурс]. Режим доступу: http://www.nbcorporation.com/pdf/NB_Linear_System.pdf
    33. Офіційний сайт компанії „IKO” (Japan): http://www.ikont.co.jp/eg/
    34. Офіційний сайт компанії „PM Bearings”: http://www.pmbearings.nl/
    35. Офіційний сайт компанії „INA” (Germany): www.ina.com
    36. Linear Motion System.General Catalogue // Системы линейного перемещения THK. Общий каталог. [Електронний ресурс] // Режим доступу: http://www.promsnab.info/thk.html
    37. Офіційний сайт компанії „Bosch Rexroth (Star)” (Germany): www.rexroth-star.com
    38. Офіційний сайт компанії „NSK” (Japan): http://www.nsk.com/
    39. Офіційний сайт компанії „Schneeberger” (Швейцарія / Германія): www.schneeberger.com
    40. Офіційний сайт компанії „Schock Metall” (Germany): www.schock-metall.de
    41. Офіційний сайт компанії „Franke GmbH” (Germany): www.franke-gmbh.de/
    42. Офіційний сайт компанії „ISEL Automation” (Germany): http://www.iselautomation.de/
    43. Офіційний сайт компанії „Hepco” (Великобританія): www.hepco.co.uk
    44. Офіційний сайт компанії „Pacific Bearing” (USA): www.pacific-bearing.com/
    45. Електронний on-line каталог продукції компанії SMC (Австрия) [Електронний ресурс] // Режим доступу: http://www.smc.ua/ document.asp?id=1109
    46. Офіційний сайт компанії „Physikinstrumente”: http://www. physikinstrumente.com/en/
    47. NTS NanoDirect series [Електронний ресурс] // Discovery Technology International, LLLP 2006. Режим доступу до статті: http://www.dti-nanotech.com/docs/NTSseries_Brochure.pdf
    48. NTS NanoDirect. Nanopositioning Piezoelectric Linear Stages with Long Travel Distance [Електронний ресурс] // Discovery Technology International, LLLP 2006. Режим доступу до статті: http://www.dti-nanotech.com/docs/ NanoDirect_Technical.pdf
    49. Пьезомоторизованная линейна нанонаправляющая Sb-01 [Електронний ресурс]. Режим доступу: http://piezomotor.com.ua/product/41
    50. Туричин А.М. Электрические измерения неэлектрических величин / под. ред. Новицкого П.В. М.: Энергия, 1966. 690 с.
    51. Спектор С.А. Электрические измерения физических величин. Методы измерений / Спектор С.А. Л.: Энергоатомиздат, 1987. 320 с.
    52. Виглеб Г. Датчики. Устройство и применение; пер. с нем. М.: Мир, 1989. 196 с.
    53. Агейкин Д.И. Датчики контроля и регулирования / Агейкин Д. И. и др. М.:Машиностроение, 1965. 318 с.
    54. Викторов В.А. Высокочастотный метод измерения неэлектрических величин / Викторов В.А. и др. М.: Наука, 1979. 256 с.
    55. Бондер В.А. Измерительные приборы : учеб. [для вузов по спец. "Приборы точ. механики"] / В.А. Бондер, А. В. Алферов. 1986. 365 с.
    56. Фатыхова Р.К. Контроль оптико-механических приборов : учеб. пособие [для средних ПТУ] / Фатыхова Р.К., Фатыхов Р.Ф., Кравцов Э.А. М.: Машиностроение, 1988. С. 141-143
    57. Фремке А.В. Электрические измерения / Фремке А. В. М.: Госэнергоиздат, 1954. 496 с.
    58. Эрлер В. Электрические измерения неэлектрических величин полупроводниковыми тензорезисторами / Эрлер В., Вальтер Л.; пер. с немецкого. М.: Мир, 1974. 285 с.
    59. Тензометрические датчики перемещений. Каталог компанії ЗАО «Прибор.Ру». [Електронний ресурс] / Режим доступу: http://dacell.ru/index.html
    60. Измерение линейных перемещений с использованием тензопреобразователя на сапфире//Приборы.№2.М.:СООМеждународное НТО приборостроителей и метрологов”, 2000. С.17.
    61. Ацюковский В.А. Емкостные датчики перемещения / В. А. Ацюков-ский. М.: Энергия, 1977. 177 с.
    62. Волгов В.А. Детали и узлы радиоэлектронной аппаратуры / Волгов В. А. М.: Энергия, 1977. 656 с.
    63. Шрамков Е.Г. Электрические измерения. Средства и методы измерений (общий курс) / Шрамков Е.Г. М.: Высшая школа, 1972. 520 с.
    64. Байда Л.И. Электрические измерения. Общий курс: учеб. / Байда Л.И., Добротворский Н.С., Оршанский Д.Л., и др.; под общей ред. Фремке А. В. Л.-М.: Госэнергоиздат, 1954. 496 с.
    65. Датчики линейных перемещений (индуктивные датчики, LVDT): каталог компанії ЗАО «Прибор.Ру». [Електронний ресурс] / Режим доступу: http://rdpelectronics.ru/
    66. Аш Ж. Датчики измерительных систем / Аш Ж. и др. Пер. с франц. М.: Мир, 1992. 480 с.
    67. Пат. 2245512 Российская Федерация, МПК7 G01B7/00, Устройство для измерения линейных перемещений / Войцеховский В.А., Митрофанов М.Н., Семенов В.П., Степаненков И.Н., Костюрин В.А., Шустер Н.Е.; заявитель и патентообладатель Закрытое акционерное общество Завод "Измерон". № 2003119531/28 ; заявл. 24.06.2003 ; опубл. 27.01.2005, Бюл. № 23.
    68. Сорочкин Б.М. Средства для линейных измерений / Б.М.Сорочкин и др. Л.: Машиностроение, 1978. 350 с.
    69. Пат. 2207498 Российская Федерация, МПК7 G01B7/00, Способ измерения перемещений контролируемых объектов / Рассомагин В.Р.; Рассомагин С.Р.; заявители и патентообладатели Рассомагин В.Р.; Рассомагин С.Р. № 2002104609/28; заявл. 20.02.2004 ; опубл. 27.06.2003, Бюл. № 15.
    70. Пат. 2125708 Российская Федерация, МПК6 G01B7/00. Индуктивное устройство для измерения линейных перемещений / Смирнов В.И.; заявитель и патентообладатель Смирнов В.И. № 95100569/28 ; заявл. 01.12.1995; опубл. 27.01.1999, Бюл. № 18.
    71. Тиль Р. Электрические измерения неэлектрических величин. Второе издание, переработанное и дополненное / Тиль Р. Перевод с немецкого. М.: Энергоатомиздат, 1987. 192 с.
    72. Домрачев В.Г. Схемотехника цифровых преобразователей перемещений / Домрачев В.Г. и др. М: Энергоиздат , 1987. 392 с.
    73. У. Томпкинс. Сопряжение датчиков и устройств ввода данных с компьютерами IBM PC / У. Томпкинс, Дж.Уэбстера. М.: Мир, 1992, 450 с.
    74. Кушнир Ф.В. Электрорадиоизмерения / Кушнир Ф.В., Савенко В.Г. Л.: Энергия, 1975, 268 с.
    75. Буда Я. Автоматизация процессов машиностроения; под ред. А.И. Дащенко. М.: Высшая школа, 1991. 300 с.
    76. Андреев Г.Н. Автоматический контроль в технологических процессах / Андреев Г.Н., Маханько А.М. М.: Станкин, 1993. 180 с.
    77. Когай В.Я., Замараев В.Н. Датчики влажности и температуры // Тезисы докладов II Международного симпозиума [Композиты и глубокая переработка природных ресурсов]. Н. Челны, 1999. С. 59.
    78. Кобус А. Датчики Холла и магниторезисторы / Кобус А., Тушинский Я. М.: Энергия, 1971. 324 с.
    79. А. с. 1656313 СССР, МКИ5 G01В 7/00. Измеритель линейных перемещений / Киселев И.Е., Смирнова Л.И. (СССР). № 4693426; заявл. 23.05.1989; опубл. 15.06.1991, Бюл. № 22.
    80. Иванов А.Г. Измерительные приборы в машиностроении / Иванов А.Г. М.: Издат. Стандартов, 1981. 356 с.
    81. Якушенко Ю.В. Высокоточные измерения углов / Якушенко Ю. В. М.: Машиностроение, 1987. 300 с.
    82. Конструкции, расчет и эксплуатация измерительных инструментов и приборов / Городецкий Ю.Г. М.: Машиностроение, 1972. 298 с.
    83. Коломийцев Ю.В. Оптические приборы для измерения длин и углов / Коломийцев Ю.В. и др. М:, Машиностроение, 1968. 369 с.
    84. Сорочкин Б.М. Cредства для линейных измерений / Сорочкин Б. М. и др. М.: Машиностроение, 1980. 398 с.
    85. Оптоэлектронные и контрольно-измерительные устройства / Конюхов Н. Е. М.: Машиностроение, 1985. 358 с.
    86. Оптический производственный контроль; под ред. Д. Малакары; пер. с англ. М.: Машиностроение, 1985. 400 с.
    87. Преснухин Л.Н. Муарові растрові датчики положення і їх застосування / Преснухин Л.Н., Шаньгин В.Ф., Шаталов Ю.А. М.: Машинобудування, 1969. С. 167-178.
    88. Пат. 2219491 Российская Федерация, МПК7 G01B11/00. Способ измерения и измеритель линейных перемещений / Якунин А.Г., Сучкова Л.И., Тушев А.Н.; заявитель и патентообладатель Алтайский государственный технический университет им. И.И. Ползунова № 2001121410/28; заявл. 30.07.2001 ; опубл. 20.12.2003, Бюл. № 17.
    89. Пат. 2277695 Российская Федерация, МПК7 G01B11/00. Устройство для измерения малых линейных перемещений / Комоцкий В. А., Корольков В. И., заявитель и патентообладательи осударственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Российский Университет Дружбы Народов" (РУДН) № 2004135369/28; заявл. 12.06.2004 ; опубл. 10.06.2006, Бюл. № 19.
    90. Коронкевич В.П. Современные лазерные интерферометры / Коронкевич В.П., Ханов В.А. Новосибирск: Наука, 1985. 181с.
    91. Bobroff N. Recent Advances in Displacement Measuring Interferometry / Bobroff N. Measurement Science and Technology, 1993, Vol 4, Iss 9. pp. 907-926.
    92. Smith P.W. Veillard D.H. Measurement of Head-Disk Spacing Using Laser Heterodyne Interferometry / Smith P.W., Ganapathi S.K. Simulation and Experiments, IEEE Transactions on Magnetics, 1993, Vol 29, Iss 6. pp. 3912-3914.
    93. Araya A. Highly Sensitive Wide-Band Seismometer Using a Laser Interferometer / Araya A., Kawabe K., Sato T., Mio N., Tsubono K. Review of Scientific Instruments, 1993, Vol 64, Iss 5. pp. 1337-1341.
    94. Дубров М.Н. Вопросы теории протяженных лазерных деформографов для сейсмических исследований / Дубров М.Н., Матвеев Р.Ф. М.: ИРЭ РАН, 1994. 28 с. (Препринт / ИРЭ РАН, 1994-1 (589)).
    95. Привалов В. Е. Применение лазеров для измерения линейных и угловых перемещений : уч. пособие/ Привалов В. Е., Иванов В. А. ЛИТМО, 1987. 298 с.
    96. Лукьянов Д. И. Лазерные измерительные системы / Лукьянов Д. И. М.: Радио и связь, 1981. 454 с.
    97. Привалов В. Е. Газоразрядные лазеры в измерительных комплексах / Привалов В. Е. Л.: Судостроение, 1989. 260 с.
    98. Скоков И. В. Многолучевые интерферометры в измерительной технике / Скоков И. В. М.: Машиностроение, 1989. 312 с.
    99. Дж.Реди. Промышленные применения лазеров / Дж.Реди. М.: Мир, 1981. 638 с.
    100. Yueh F. Y., Singh J. P., Zhang H. Laser-induced breakdown spectroscopy elemental analysis. Encyclopedia of Analytical Chemistry / R. A. Meyers, ed. Wiley, New York, 2000. pp. 20662087.
    101. Жиглинский А.Г. Реальный интерферометр Фабри-Перо / Жиглинский А.Г., Кучинский В.В. Л.: Машиностроение, 1983. 176 с.
    102. Захарьевский А. Н. Интерферометры / Захарьевский А. Н. М.: Оборонгиз, 1952. 295 с.
    103. Елисеев С. В. Геодезические инструменты и приборы / Елисеев С. В. М.: Недра, 1973. 178 с.
    104. Медянцева Л.Л. Контроль прямолинейности и плоскостности поверхностей / Медянцева Л.Л., Горбачева В.В., Шарова E.E. М.: Издательство стандартов, 1972. 119 с.
    105. А. с. 572646 СССР, МКИ5 G 01 В 11/00. Способ измерения фазового сдвига световых волн / Васильев В. С., Корндорф С. Ф., Никитин Б. Д., Телешевский В. И., Криштул А. Ю., Левитес А. Ф., Потапов Е. П. (СССР). № 2158025; заявл. 17.07.1975; опубл. 15.09.1977, Бюл. № 34.
    106. А. с. 1610252 СССР, МКИ5 G 01 В 11/00. Способ измерения пространственных перемещений объкта / Телешевский В.И., Яковлев Н.А., Игнатов С.А. (СССР). № 4617874; заявл. 12.12.1988; опубл. 30.11.1990, Бюл. № 44.
    107. А. с. 1765691 СССР, МКИ5 G 01 В 21/00. Способ измерения смещений объекта / Телешевский В.И., Яковлев Н.А., Игнатов С.А. (СССР). № 4816509; заявл. 19.104.1990; опубл. 30.09.1992, Бюл. № 36.
    108.
  • Стоимость доставки:
  • 200.00 грн


ПОИСК ДИССЕРТАЦИИ, АВТОРЕФЕРАТА ИЛИ СТАТЬИ


Доставка любой диссертации из России и Украины