Власов Геннадий Сергеевич. Тонкопленочные микроэлектронные преобразователи и методы их технологического контроля
Кол-во страниц:
200
ВУЗ:
Пенза
Год защиты:
2004
Краткое описание:
Власов Геннадий Сергеевич. Тонкопленочные микроэлектронные преобразователи и методы их технологического контроля : Дис. ... д-ра техн. наук : 05.11.01 Пенза, 2004 463 с. РГБ ОД, 71:05-5/772