ПОВЫШЕНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ ИОННОЙ ОЧИСТКИ ДЕТАЛЕЙ ГТД С УЧЕТОМ ТЕМПЕРАТУРНЫХ ОГРАНИЧЕНИЙ : ПІДВИЩЕННЯ ЕФЕКТИВНОСТІ іонного очищення ДЕТАЛЕЙ ВМД З УРАХУВАННЯМ ТЕМПЕРАТУРНИХ ОБМЕЖЕНЬ

Краткое описание

Министерство образования и науки Украины
Национальный аэрокосмический университет им. Н. Е. Жуковского
«Харьковский авиационный институт»
На правах рукописи
ГАРИН АНДРЕЙ ОЛЕГОВИЧ
УДК 621.438-226.002:666.293.3
ПОВЫШЕНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ ИОННОЙ ОЧИСТКИ ДЕТАЛЕЙ ГТД
С УЧЕТОМ ТЕМПЕРАТУРНЫХ ОГРАНИЧЕНИЙ
05.03.07 – процессы физико-технической обработки
Диссертация на соискание ученой степени
кандидата технических наук
Научный руководитель
доктор технических наук, профессор
Планковский Сергей Игоревич
Харьков – 2013

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ .............................................................................................................. 4
РАЗДЕЛ 1 СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИЕ ПРОБЛЕМЫ И ФОРМУЛИРОВКА
ЗАДАЧ ИССЛЕДОВАНИЯ ................................................................................... 10
1.1 Обзор методов нанесения покрытий ........................................................... 10
1.2 Методы очистки поверхностей.................................................................... 14
1.2.1 Методы предварительной очистки поверхностей ................................... 15
1.2.2 Методы вакуумной очистки поверхностей.............................................. 22
1.3 Оборудование для чистки деталей ГТД в вакууме..................................... 25
1.4 Выводы по разделу 1.................................................................................... 34
РАЗДЕЛ 2 РАСЧЕТНАЯ МОДЕЛЬ ПРОЦЕССА И МЕТОДИКА ВЫБОРА
ПАРАМЕТРОВ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ИСТОЧНИКА ДЛЯ ИОННОЙ
ОЧИСТКИ .............................................................................................................. 36
2.1 Постановка задачи моделирования ............................................................. 36
2.1.1 Механизм ионного травления................................................................... 36
2.1.2 Процессы, происходящие на поверхности при ионном распылении ..... 42
2.1.3 Баланс энергии на поверхности при ионном распылении ...................... 46
2.1.3.1 Источники энергии на поверхности ...................................................... 46
2.1.3.2 Стоки энергии на поверхности .............................................................. 51
2.2 Измерение параметров плазмы.................................................................... 55
2.2.1 Анализ результатов зондовых измерений................................................ 59
2.3 Разработка экспериментально-расчетной модели для расчета.................. 64
теплового состояния детали при ионной очистке ............................................ 64
2.4 Описание и результаты решения тестовой задачи по выбору параметров
технологического источника для ионной очистки поверхностей лопаток.... 66
2.5 Выводы по разделу 2.................................................................................... 71
РАЗДЕЛ 3 МЕТОДИКА НАЗНАЧЕНИЯ РЕЖИМОВ ИОННОЙ ОЧИСТКИ
С ОЦЕНКОЙ ТЕПЛОВОГО СОСТОЯНИЯ ДЕТАЛИ ........................................ 72
3.1 Определение участка действия теплового потока при планетарном ....... 76
3
движении деталей............................................................................................... 76
3.3 Методика выбора режима ионной очистки ................................................ 81
3.4 Выводы по разделу 3.................................................................................... 89
РАЗДЕЛ 4 ОПИСАНИЕ ПОСТАНОВКИ ЭКСПЕРИМЕНТА И АНАЛИЗ
ПОЛУЧЕННЫХ РЕЗУЛЬТАТОВ ......................................................................... 90
4.1 Оборудование и описание методики эксперимента ................................... 90
4.2 Результаты эксперимента............................................................................. 99
4.3 Назначения режима ионной очистки с использованием .......................... 114
интегрированной CAD/CAE-систем ............................................................... 114
4.4 Выводы по разделу 4.................................................................................. 117
ОБЩИЕ ВЫВОДЫ .............................................................................................. 119
ЛИТЕРАТУРА...................................................................................................... 121
ПРИЛОЖЕНИЯ.................................................................................................... 133

ВВЕДЕНИЕ
Актуальность темы. В настоящее время газотурбинные установки мас-
сово применяют в авиационной и наземной технике. Надежность их работы в
большей степени зависит от стойкости лопаток, которую в свою очередь обес-
печивают модификациями свойств поверхности, то есть используют принципи-
ально новый подход к выбору материалов на стадии проектирования. Основу
детали изготавливают из материала, который обеспечивает прочность и задан-
ные параметры конструкции, а на поверхности, которые должны обладать спе-
циальными свойствами, наносят тонкие слои других материалов – покрытий,
придавая поверхностным слоям необходимые свойства.
Такой подход наиболее целесообразен вследствие того, что поверхност-
ный слой детали в условиях эксплуатации подвергается наиболее сильному ме-
ханическому, тепловому и другим воздействиям. В покрытиях возникают и
развиваются микротрещины, нередко образуются эрозионные повреждения,
сколы, происходит внутреннее окисление металла, снижается концентрация
защитных компонентов, изменяются фазовый состав и структура материала по-
крытия. Поверхностный слой деталей оказывает существенное влияние и на та-
кие эксплуатационные свойства, как статическая, циклическая и ударная проч-
ность, износостойкость, сопротивление коррозии, эрозии, кавитации.
В настоящее время основным направлением в практике нанесения изно-
состойких покрытий является развитие вакуумных ионно-плазменных техноло-
гий и разрешение проблем подготовки и активации обрабатываемых поверхно-
стей, совмещенных с технологическим циклом нанесения покрытий.
Финишные операции очистки поверхностей лопаток и нанесения покры-
тий целесообразно проводить на одном оборудовании, избегая загрязнений,
связанных с межоперационной транспортировкой деталей. Поэтому для вы-
полнения таких операций наиболее эффективно использовать методы ионной
очистки.
Существенным недостатком этих методов является низкая производи-
тельность. Для сокращения времени очистки увеличивают энергию ионного
5
пучка, что приводит к росту локальных температур на поверхности. Это в свою
очередь может активировать фазовые переходы в структуре материала детали и
значительно сократить ее эксплуатационный ресурс, т.е. следует уменьшать ло-
кальный нагрев.
Разработка методик выбора и назначения режимов ионной очистки с уче-
том тепловых ограничений, вызванных стремлением к неизменности свойств
применяемых материалов, позволит формировать покрытие высокого качества
и стабильно получать высокие значения адгезионной прочности покрытия при
сокращении времени финишных операций очистки поверхности.
Таким образом, разработка научно обоснованных методов выбора и на-
значения режимов ионной очистки деталей ГТД с учетом тепловых ограниче-
ний для увеличения производительности очистных операций является актуаль-
ной и имеет большое практическое значение.
Связь работы с научными программами, планами, темами. Настоя-
щая диссертационная работа выполнена на кафедре технологии производства
летательных аппаратов Национального аэрокосмического университета им.
Н.Е. Жуковского «Харьковский авиационный институт» в рамках приведенных
ниже тем, научно-исследовательских работ:
− «Научные основы создания плазменных генераторов и ускорителей
плазмы для космических и технологических целей» (Д / Р 0103U005066);
− «Физико-технические основы создания плазменных генераторов и ус-
корителей плазмы для космических и технологических целей» (Д / Р
0106U001056);
− «Физические основы создания новых термоэмиссионных композицион-
ных материалов для катодов электрореактивных двигателей ракетно-
космической техники и высокотоковой электроники» (Д / Р 0109U002444);
− «Методологические основы проектирования современных технологиче-
ских процессов изготовления деталей и узлов летательных аппаратов» (Д / Р
0106U001045);
6
− «Разработка и исследование плазменных генераторов с комбинирован-
ными катодными узлами» (Д / Р 0110U008133).
Указанные научно-исследовательские работы, соисполнителем которых
является соискатель, были базовыми при подготовке и представлении настоя-
щей диссертации.
Цель работы – разработать научно обоснованный метод назначения ре-
жимов ионной очистки деталей ГТД с учетом тепловых ограничений для уве-
личения её производительности.
Задачи исследования. Для реализации поставленной цели сформулиро-
ваны следующие задачи исследования:
1. Провести анализ методов очистки поверхностей деталей ГТД перед на-
несением защитных покрытий. На основе результатов анализа сформулировать
требования к технологическому процессу ионной очистки поверхностей с уче-
том тепловых ограничений, наложенных на изделие.
2. Разработать математическое обеспечение для определения режимов
ионной очистки поверхностей деталей ГТД с учетом тепловых ограничений в
современных CAD/CАЕ - пакетах.
3. Составить методику расчета технологических параметров ионной очи-
стки поверхностей лопаток ГТД с учетом тепловых ограничений.
4. Выполнить экспериментальную проверку качества ионной очистки с
назначением режимов обработки в соответствии с разработанной методикой.
5. Предложить технические решения по модернизации существующего
оборудования для нанесения ионно-плазменных покрытий и реализации воз-
можности проведения финишных операций ионной очистки.
Объект исследования – ионно-плазменные технологии финишной очи-
стки поверхностей перед нанесением покрытий.
Предметом исследования являются методы выбора и назначения режи-
мов ионной очистки деталей в современных CAD/CАЕ - пакетах.
Методы исследования. Для достижения поставленной цели и получения
основных результатов диссертационной работы использованы методы матема-
7
тического моделирования, аналитические и численные методы решения задач
математической физики. В процессе расчетов использованы сертифицирован-
ные расчетные пакеты на основе метода конечных элементов; при эксперимен-
тальных исследованиях − методы спектроскопии, термопарные методы измере-
ния температуры, зондовые методы измерений параметров плазмы автономных
ионных источников; шероховатость поверхности измеряли бесконтактным ме-
тодом измерения на спекл - интерферометрическом комплексе; при исследова-
нии качества очистки использован люминесцентный оптический спектральный
комплекс.
Научная новизна полученных результатов. В диссертационной работе
приведены результаты комплекса исследований, направленных на решение
важной научно-технической задачи повышения производительности и качества
ионной очистки деталей ГТД с учетом температурных ограничений. Научная
новизна исследования заключается в следующем:
1. Разработана экспериментально расчетная модель, основанная на учете
составляющих баланса энергий на поверхностях, которая позволяет рассчиты-
вать тепловое состояние детали при ионной очистке. Модель учитывает зави-
симость коэффициента распыления от энергии ионов и угла их падения, а также
экспериментальные данные о распределении энергии и плотности ионного тока
по сечению пучка.
2. Впервые предложен метод аналитического определения действия теп-
лового источника произвольной формы на поверхности детали, которая совер-
шает сложное, в том числе планетарное движение. Метод основан на примене-
нии аппарата R-функций и требует задания координат поверхности детали в
CAD-системе.
3. На основе разработанных моделей предложена методика выбора и на-
значения режимов ионной очистки с учетом теплового состояния обрабатывае-
мых деталей, которая позволяет минимизировать время ионной очистки с со-
хранением её качества.
Практическое значение полученных результатов. Практическую цен-
8
ность работы составляют такие основные результаты.
1. Разработаны компьютерные программы для расчета режимов ионной
очистки с учетом тепловых ограничений (параметров источника ионов, частоты
вращения стола и деталей).
2. На основе результатов моделирования сформулированы технологиче-
ские рекомендации о назначении режимов ионной очистки с учетом тепловых
ограничений для материала конкретной детали. В ходе эксперимента при задан-
ных параметрах технологических источников было сокращено на 10% расчетное
время обработки изделия.
3. Спроектированы технологические автономные источники ионов, кото-
рые могут быть интегрированы с существующим оборудованием для ионно-
плазменного нанесения покрытий.
Результаты работы переданы и приняты АО «Мотор Сич» в виде рекомен-
даций по назначению режимов ионной очистки лопаток авиационных двигателей
с учетом тепловых ограничений. Сформирована научно-техническая база, кото-
рая используется при выполнении научных исследований и подготовке специа-
листов в Национальном аэрокосмическом университете им. Н. Е. Жуковского
«ХАИ».
Личный вклад соискателя. В диссертационном исследовании вклад ав-
тора заключается в обосновании общей концепции работы, формулировке це-
лей и задач исследования, разработке методик назначения режимов ионной
очистки с учетом тепловых ограничений, подготовке и проведении экспери-
ментальных исследований. Соискателю принадлежат основные идеи диссерта-
ционной работы, положения, вынесенные на защиту, а также выводы и реко-
мендации.
В статьях, написанных в соавторстве, автору принадлежит следующее:
[98] − численые результаты моделирования теплового состояния лопатки
ГТД с учетом температурных ограничений, [110] − результаты эксперимен-
тальных исследований применения плазменного ионного ускорителя и ускори-
теля с анодным слоем для ионной очистки деталей ГТД, [99] − разработка ма-
9
тематической модели ионной очистки деталей ГТД, [10] − обоснование приме-
нения ускорителя с анодным слоем для ионной очистки деталей ГТД.
Апробация результатов диссертации. Основные положения и результа-
ты диссертационной работы доложены и обсуждены на Международной науч-
но-технической конференции «Интегрированные компьютерные технологии в
машиностроении (ИКТМ 2006)» (Харьков, 2006 г.), Международной научно-
технической конференции «Проблемы создания и обеспечения жизненного
цикла авиационной техники» (Харьков, 2007), Международной научно-
технической конференции« Интегрированные компьютерные технологии в ма-
шиностроении (ИКТМ 2008)» (Харьков, 2008г.), Международной научно-
технической конференции« Проблемы создания и обеспечения жизненного
цикла авиационной техники» (Харьков, 2009 г.), Международной научно-
технической конференции «Интегрированные компьютерные технологии в ма-
шиностроении (ИКТМ 2009)» (Харьков, 2009 г.), Международной научно - тех-
нической конференции «Проблемы создания и обеспечения жизненного цикла
авиационной техники» (Харьков, 2012 г.), а также на научно-технических се-
минарах и заседаниях кафедры технологии производства летательных аппара-
тов Национального аэрокосмического университета им. М.Е. Жуковского
«Харьковский авиационный институт».
Публикации. Результаты диссертации изложены в четырёх статьях (одна
без соавторов), опубликованных в научных изданиях, в тезисах шести докладов
на научно-технических конференциях.
Структура и объем работы. Диссертация состоит из введения, четырех
разделов, общих выводов, списка использованных источников. Полный объем
диссертации составляет 135 страницы машинописного текста, 53 рисунка, че-
тыре таблицы, список использованных источников из 127 наименований и два
приложения на двух страницах.

Список литературы

ОБЩИЕ ВЫВОДЫ
В диссертационной работе выполнен комплекс исследований,
направленных на решение важной научно-технической задачи разработке
научно обоснованных методов выбора и назначения режимов ионной очистки
деталей ГТД для увеличения ее производительности с учетом тепловых
ограничений. При выполнении работы получены следующие результаты:
1. В работе предложен экспериментально-расчетный метод назначения
режимов ионной очистки с учетом тепловых ограничений для материала
детали. Значения температуры детали, рассчитанные по предложенной
методике, превышают экспериментальные не более чем на 5%. Для задачи о
выборе режима очистки с учетом теплового состояния детали это дает
дополнительный запас по температуре фазового перехода материала изделия.
2. На основе результатов анализа существующих методов очистки
деталей ГТД сформулированы требования к технологическому процессу
очистки лопаток ГТД с учетом тепловых ограничений, наложенных на
материал изделия. Обоснован выбор ионных методов очистки в вакуумной
камере с последующим напылением покрытия, которые наиболее полно
удовлетворяют требованиям к качеству очистки. Разработана научно
обоснованная методика выбора режимов ионной очистки деталей ГТД для
увеличения ее производительности.
3. Проведен анализ существующих подходов к расчету механизмов
ионного травления. Для расчета теплового состояния детали при ионной
очистке предложено использовать экспериментально-расчетную модель,
основанную на учете составляющих баланса энергии на поверхностях. В
модели учтена зависимость коэффициента распыления от энергии ионов и угла
их падения. Для задания интенсивности тепловых источников предложено
использовать экспериментальные данные о распределении полной энергии и
ионного тока по сечению пучка ионов. Адекватность предложенной модели
подтверждена сопоставлением результатов численного моделирования и
экспериментальных данных.
120
4. Впервые предложен метод аналитического определения действия
теплового источника произвольной формы на поверхность детали, которая
выполняет сложное, в том числе планетарное, движение. Метод основан на
применении математического аппарата R-функций и предполагает задание
координат поверхности детали в CAD-системе.
5. В качестве технологических источников ионов для комбинированных
установок, совмещающих возможности очистки поверхности и нанесения
покрытий, экспериментально обосновано применение ускорителей с анодным
слоем и плазменных ионных ускорителей для очистки деталей ГТД с учетом
температурных ограничений, наложенных на материал изделия.
6. В результате эксперимента с образцов из материала ЖС6-К были
удалены соединения типа бензольных колец (как отдельных, так и в группах),
содержащие окси- (−ОН) и амино- (−NH2) группы; = SH, = CH, C ≡ N, C ≡ C,
С = С (алкины, амины, нитрилы, алкалы), −ОН (производные от высших
спиртов и фенолов). Установлено увеличение фактической площади
поверхности, при этом её шероховатость на микроскопическом уровне
уменьшилась, что можно объяснить эффектом «полировки», который возникает
при изменении угла падения атомов аргона от нормали к поверхности при
повороте лопатки относительно своей оси. В ходе эксперимента при заданных
параметрах технологических источников было сокращено на 10% расчетное
время обработки изделия.
7. Предложена методика автоматизированной настройки режимов ионной
обработки в условиях предприятия, использующего информационно
интегрированные CAD / CAM / CAE системы. Разработан алгоритм работы
специализированного CAE-модуля ионной обработки, в котором реализованы
регулировочные характеристики, полученные на основе численного
моделирования с применением предложенных в работе математических
моделей.

ЛИТЕРАТУРА
1. Крымов, В.В. Производство газотурбинных двигателей [Текст] /
В.В.Крымов, Ю. С. Елисеев, К.И. Зудин.  М.: Машиностроение/ Машино-
строение, 2002. – 376 с.
2. Изготовление деталей ГТД из титановых сплавов [Текст] / В. А. Богусла-
ев, А. И. Долматов, П. Д. Жеманюк и др.  Запорожье: Дека, 1997. 276 с.
3. Сулима, А. М. Поверхностный слой и эксплуатационные свойства дета-
лей машин [Текст] / А.М. Сулима, В.А. Шулов, Ю.Д. Ягодкин.- М.: Машино-
строение, 1988.  239 с.
4. Плазмотехнология – 97: сб. научн. тр. Акад. технол. наук Украины.  ЗАО
«Инс-т инновац. исслед.», Запорож. гос. ун-т [Текст] / под ред. С. А. Юхипчука
 Запорожье: Видавець, 1997.  259 с.
5. Плешивцев, Н.В. Катодное распыление [Текст] / Н. В. Плешивцев.  М.:
Атомиздат, 1968.  347 с.
6. Данилин, Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения
тонких пленок [Текст] / Б. С. Данилин. – М.: Энергоатомиздат, 1989.  328 c.
7. Сулима, А. М. Поверхностный слой и эксплуатационные свойства дета-
лей машин [Текст] / А.М. Сулима, В.А. Шулов, Ю.Д. Ягодкин.  М.: Машино-
строение, 1988.  239 с.
8. Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме
[Текст] / Костржицкий А.И., Карпов В.Ф., Кабанченко М.П. и др.  М.: Маши-
ностроение, 1991. –176 с.
9. Контроль процессов травления материалов в низкотемпературной газо-
разрядной плазме [Текст] / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев, В. А. Каплин,
Э. М. Врублевский // Приборы и техника эксперимента. – М.: Наука, 1982. 
№1.  149 с.
10. Технологический генератор плазмы для ионной очистки лопаток ГТД
[Текст]/ А.О. Гарин, Д.В. Слюсар, В. П. Колесник и др. // Авиационно-
космическая техника и технология: сб. науч. тр. Нац. аэрокосм. ун-та им.
122
Н. Е. Жуковского «ХАИ». – Вып. 10(46). – Х., 2007. – С. 16-18.
11. Лосев, А.В. Удаление заусенцев с деталей сложной формы методом тер-
мического взрыва [Текст]/ А. В. Лосев // Использование импульсных источни-
ков энергии в промышленности: тез. докл. – Х., 1980. – С. 152-153.
12. Лосев, А.В. Теоретический анализ термоимпульсного удаления заусенцев
с деталей [Текст] / А. В. Лосев // Импульсная обработка металлов давлением. –
Х., ХАИ. – 1997. – С.43-49.
13. Сборка роторов ГТД барабанно-дискового типа: типовые про-цессы, ал-
горитмы расчетов. Монография / И.Ф. Кравченко, Э.В. Кондратюк, В.А. Титов
и др. – К.: КВИЦ, 2011. – 198 с.
14. Гришин, С.Д. Электрические ракетные двигатели [Текст] / С. Д. Гришин,
Л. В. Лесков, Н. П. Козлов.  М.: Машиностроение, 1975.  272 с.
15. Дунин- Барковский, И.В. Основные направления исследования качества
поверхности в машиностроении и приборостроении [Текст] / И. В. Дунин- Бар-
ковский // Вестник машиностроения.  1971.  № 4.  С. 49 – 55.
16. Елизаветин, М.А. Повышение надежности машин [Текст] / М. А. Елиза-
ветин.  М.: Машиностроение, 1974.  430 с.
17. Маталин, А.А. Технологические методы повышения долговечности дета-
лей машин [Текст] / А. А. Маталин  К: Технiка, 1971.  142 с.
18. Билик, М.М. Макрогеометрия деталей машин [Текст]: монография. /
М. М. Билик. – М.: Машиностроение, 1973. – 344 с.
19. Биргер, И.А. Остаточные напряжения [Текст]: монография / А. И. Биргер.
– М.: Машгиз, 1963. – 232 с.
20. Gillespie, LaRoux K. Deburring and Edge Finishing Handbook [Text] / Laroux
K Gillespie, L K Gillespie. – Dearborn, MI: Society of Manufacturing Engineers,
1999. – 404 p.
21. Анализ уплотнительных элементов газотурбинных двигателей [Текст] /
Пейчев Г.И., Кондратюк Э.В., Зиличихис С.Д. и др. // Х.: Мир техники и техно-
логий. – 2011.  №4. – С. 103 – 106.
123
22. Демкин, Н.Б. Контактирование шероховатых поверхностей [Текст]: моно-
графия. / Н. Б. Демкин. – М.: Наука, 1970. – 227 с.
23. Рудзит, Я.А. Микрогеометрия и контактное взаимодействие поверхностей
[Текст] / Я. А. Рудзит. – Рига: Зинантне, 1975. – 216 с.
24. Дьяченко, П.Е. Исследование зависимости микротвердости поверхности
от условий обработки [Текст]: монография / П. Е. Дьяченко. – М.: Изд-во АН
СССР, 1949. – 127 с.
25. Дьяченко, П. Е. Качество поверхности при обработке металлов резанием
[Текст]: монография / П. Е. Дьяченко, М. О. Якобсон – М.: Машгиз, 1951. –
208 с.
26. Малеванный, В. И. Качество поверхности деталей из стали Г13Л, подвер-
гающейся механической обработке [Текст] / В.И. Малеванный, А. И. Малеван-
ный // Исследования в области физики резания, трения и износа: Труды ин-та. –
Новочеркасск: НПИ. – 1975. – С. 95–98.
27. Гоголев, А.Я. Действие трения на наростообразование при резании ме-
таллов [Текст] / А. Я. Гоголев, Бутенко В.И. // Известия Сев.-Кав. научн. центра
высш. шк. – Сер. Технические науки. – 1975. – № 3. – С. 78 – 81.
28. Исаев, А.И. Процесс образования поверхностного слоя при обработке ме-
таллов резанием [Текст]: монография / А. И. Исаев – М.: Гостехиздат, 1950. –
287 с.
29. Особенности маркирования сопловых лопаток статора турбины [Текст]/
Н. П. Кришталь, С. Д. Зиличихис, Э. В. Кондратюк и др.// Вестник двигателе-
строения. - Запорожье: АО "Мотор Сич", 2011. – № 1. – С. 106 – 109.
30. Кравченко В.Ф. Роль застойных явлений в образовании микронеровно-
стей на обработанной поверхности [Текст] / В. Ф. Кравченко, Е. Г. Люткевич //
Резание металлов и технология машиностроения: Труды ин-та. – Новочеркасск:
НПИ, 1971. – С. 12–17.
31. Резников, А.Н. Теплофизика резания [Текст]: монография / А. Н. Резни-
ков. – М.: Машиностроение, 1969. – 287 с.
124
32. Попов, С.А. Алмазно-абразивная обработка металлов и твердых сплавов
[Текст]: монография / С. А. Попов, Н. П. Малевский, Л. М. Терещенко. – М.:
Машиностроение, 1977. – 263 с.
33. Лебедев, В.Г. Технологические основы управления качеством поверхно-
стного слоя при шлифовании: автореф. дис… д-ра Техн. наук: 05.02.08 / Лебе-
дев Виктор Григорьевич / КПИ. – К., 1991. – 29 с.
34. Розанов, Л.Н. Вакуумные машины и установки [Текст]: справочник / Л.
Н. Розанов.  М.: Высш. шк., 1990.  320 с.
35. Радиационные технологии модификации поверхности [Текст] / В. А. Бе-
лоус, В. И. Лапшин, И. Г. Марченко и др. // Физическая инженерия поверхно-
сти.  2003  Т. 1, № 1,  С. 40  48.
36. Каминский, М. А. Атомные и ионные столкновения на поверхности ме-
талла [Текст] / М. А. Каминский // пер. с англ. под ред. акад. Л. А. Арцимовича.
 М.: Мир, 1967.  508 с.
37. Ахметов, Н.С. Общая и неорганическая химия [Текст]: учебник для вузов/
Н. С. Ахметов.  М.: Высш. шк., 1981.  696 с.
38. Данилин, Б.С. Энергетическая эффективность процесса ионного распы-
ления материалов и систем для его реализации [Текст] / Б. С. Данилин,
В. Ю Киреев, В. К. Сырчин //Физика и химия обработки материалов.  1979. 
№ 2.  С. 52-56.
39. Данилин, Б.С. Плазмохимическое и ионно-химическое травление микро-
структур [Текст] / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев, В. И. Кузнецов.  М.: Радио и
связь. 1983.  128 с.
40. Плазменная технология в производстве СБИС [Текст]/ под. ред. Н. Айнс-
прука и Д.Брауна. – М.: Мир. – 1987. – 467 с.
41. Слюсарь, Д.В. Использование плазменного ионного ускорителя для обра-
ботки поверхностей [Текст] / Д. В. Слюсар, В. П. Колесник, О. В. Жорник// The
2-nd Korea - Ukraine Gas Turbine Technology Symposium. August 25- 26, 2005. –
P. 89-94.
125
42. Kaufman, H.R. “Ion Source Design for Industrial Application” [Text] /
H. R. Kaufman, R. S. Robinson// AIAA Journal. – 1982. – V.20, №6. – P. 745-760.
43. Белан, Н.В. Применение плазменного ионного ускорителя при производ-
стве и ремонте изделий авиационно–космической техники [Текст] / Н. В. Белан,
В. П. Колесник, Д. В. Слюсарь и др. // Новые разработки и технологии в газо-
турбостроении. Материалы 2-й научно-техн. конф. – Кривой Рог: Констар. 23–
25 июня, 2004. – С. 63–66.
44. Дороднов, А.М. Некоторые применения плазменных ускорителей в тех-
нологии [Текст] / А. М. Дороднов // Физика и применение плазменных ускори-
телей. – М.: Наука и техника, 1974.– С. 330-365.
45. Ляпин, Е.А. Современное состояние исследований ускорителей с анод-
ным слоем [Текст] / Е.А. Ляпин, А. В. Семенкин // Ионные инжекторы и плаз-
менные ускорители. – М.: Энергоатомиздат, 1990.– С. 20-33.
46. Гаркуша, В.И. Плазменные ускорители с анодным слоем [Текст] /
В. И. Гаркуша, Л. В. Лесков, Е. А. Ляпин // Плазменные ускорители и ионные
инжекторы: сб. науч. тр.– М.: Наука, 1984.– С. 129- 138.
47. Дороднов, А.М. Технологические плазменные ускорители [Текст] /
А. М. Дороднов // ЖТФ.– 1978.– Т.48, № 9. – С. 1858-1869.
48. Гришин, С. Д. Плазменные ускорители [Текст] / С.Д. Гришин, Л. В. Лес-
ков, Н. П. Козлов. – М.: Машиностроение, 1983. –231 с.
49. Вакуумные дуги [Текст]: пер. с англ. / Дж. Кобайн, Г. Экер, Дж. Фаррелл
и др.; под ред. Дж. Лафферти – М.: Мир, 1982.– 432 с.
50. Дороднов, А.М. Плазменные методы, генерации ионизированных потоков
тугоплавких веществ [Текст] / А. М. Дороднов, В. А. Петросов // Источники и
ускорители плазмы. – Х.: Гос. аэрокосм. ун–т «ХАИ». Вып. 12. – 1978. – С. 58-
61.
51. Машкова, Е.С. Современные тенденции в исследовании распыления
твердых тел. [Текст] / Е. С. Машкова // Фундаментальные и прикладные аспек-
ты распыления твердых тел: сб. ст. – М.: Мир, 1989. – С. 184-195.
52. Биркган, С. Е. Компьютерное моделирование процесса кратерообразова-
126
ния при ионном распылении [Текст] / С. Е. Биркган, Р. А. Егоров, В. А. Пав-
лов// Физический вестник ЯрГУ. –Вып. 1. – Ярославль 2006. – С.107 -118.
53. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Вып.1 Физическое
распыление одноэлементных твердых тел [Текст] / под ред. Р. Бериша – М.:
Мир, 1984. – 336 с.
54. Фальконе, Д., Теория распыления [Текст] / Д. Фальконде/ "УФН". – 1992.
– Т. 162, № 1. – С. 71.
55. Фролов, Ю. Г. Курс коллоидной химии. Поверхностные явления и дис-
персные системы [Текст]: учебник для вузов / Ю. Г. Фролов — 2–е изд., пере-
раб. и доп. — М.: Химия, 1988. — 464 с.
56. Зенгуил, Э. Физика поверхности [Текст] / Э. Зенгуил. – М.: Мир, 1990. –
536 с.
57. Вудраф, Д. Современные методы исследования поверхности [Текст] /
Д.Вудраф, Т. М. Делчар. –М: Мир, 1989. – 568 с.
58. Еловиков, С.С. Поверхность. Физика, химия, механика [Текст] /С. С. Ело-
виков, Г. Р. Тажиева, Ю. В. Сушкова и др. – 1998. – № 1.– С. 94–101.
59. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Вып.2 Распыление
сплавов и соединений, распыление под действием электронов и нейтронов, ре-
льеф поверхности [Текст] / под ред. Р. Бериша – М.: Мир, 1986. – 488 с.
60. Дороднов, А.М. О физических принципах плазменной технологии высо-
ких энергий [Текст] / А. М. Дороднов // Источники и ускорители плазмы. –
Вып. 12 – Х.: Гос. аэрокосм. ун–т «ХАИ», 1978. – С. 58-61.
61. Техническая термодинамика [Текст] / В. И. Крутов, С. И. Исаев,
И. А. Кожинов и др.: под ред. В. И. Крутова, М.: Высш. шк., 1991. –384 с.
62. Кудинов, В.А., Карташов Э.М. Техническая термодинамика [Текст]: учеб.
пособие для втузов / В. А. Кудинов, Э. М. Карташов. – М.: Высш. шк. – 2000.–
261 с.
63. Исаченко, В. П. Теплотехника [Текст] / В. П. Исаченко, В. А. Осипова,
А. С. Сукомел // Издание 4–е перераб. и дополненное. – М: Энергоиздат. –
1981.– 415 с.
127
64. Кикоин, И. К. Таблица физических величин: справочник [Текст] / И. К.
Кикоин. – М.: Атомиздат, 1976.– 1008 с.
65. Якобсон, М.О. Шероховатость, наклеп и остаточные напряжения при ме-
ханической обработке [Текст]: монография / М. О. Якобсон. – М.: Машгиз,
1956. – 292 с.
66. Петренко, А. П. Влияние технологической наследственности подготовки
поверхностей деталей авиационных двигателей при газодетонационном напы-
лении: дис. канд. техн. наук: 05. 03. 07; защищена 14.05.2007; утв. 07.10.2007 /
А. П. Петренко// МОНУ, Нац. аэрокосмический ун–т им. Н.Е. Жуковского
"ХАИ".– Х., 2007. – 188 с.
67. Курин, М.А. Исследование технологии планетарного глубинного шлифо-
вания плоских поверхностей деталей авиационных двигателей: дис. канд. техн.
наук: 05.07.02, защищена 13.05.2011; утв. 11.11.2011/ М. А. Курин// МОНУ,
Нац. аэрокосм. ун–т им. Н.Е. Жуковского "ХАИ" .–Х. – 2011. – 179 с.
68. Thornton, J.A. Science Technology [Text]/ J. A. Thornton, J. Vac. – 1974. –
№11. – 666 p.
69. Корсунов, К. А. Плазменная переработка отходов [Текст] / К.А. Корсу-
нов// Вісник Східноукраїнського національного ун-ту ім. В. Даля. – Вип. 193
(4).– Луганськ: Вид–во СНУ ім. В. Даля, 2013. – С.98 –103.
70. Корсунов, К.А. Теплообмен в разрядном канале плазмотрона [Текст] /
К. А. Корсунов // Вісник Східноукраїнського національного ун-ту ім. В. Даля. –
Вип. 148 (15). Ч. 2. – Луганськ: Вид–во СНУ ім. В. Даля, 2012. – С.84 - 92.
71. Аpplied Physics Letters [Text]/ B. Hussla, K. Enke, H. Grunwald and others. –
1987 – № 20. –889 p.
72. Jornal of Plasma Physics [Text]/ H. Deutsch, H. Kersten, A. Rutscher and others.
– Cambridge University Press. – 1989 – №29. – 263 p.
73. Jornal of Plasma Physics [Text]/ H. Deutsch, H. Kersten, S. Klagge and others.
– – Cambridge University Press. – 1988. – №28. –149 p.
74. Physical Review E [Text] / J. L. Zubimendi, M. E. Vela, R. C. Salvarezza and
128
others. – The American Physical Society. – 1994. – №50. –1367 p.
75. Journal of Vacuum Science & Technology B [Text]/ S. D. Bernstein, T.Y.
Wong, R. W. Tustison. – American Institute of Physics, AIP. – 1994. – №12.– 605 p.
76. Jornal of Non-–Cryst Solids [Text]/ S. Kugler, K. Shimakawa, T. Watanabe
and others. – Vanderbilt U. – USA. – 1993. – PP 164-166.
77. Thin Solid Films [Text]/ K.Bang, A. J. Ghajar, R. Komanduri. – 1994. –
№238. – 172 p.
78. Review of Scientific Instruments [Text]/ H. Savaloni, M. A. Player, E. Gu and
others. – American Institute of Physics, AIP. – 1992. – №63. – 1497 p.
79. Thin Solid Films [Text]/ H. Brune, H. Roder, K. Bromann and others. – 1995.
– №264. – 230 p.
80. Windischmann, H. Аpplied Physics Letters [Text]/ H. Windischmann. – 1987.
– №62. – 1800 p.
81. Rossnagel, S. M. Thin Solid Films [Text]/ S. M. Rossnagel. –1989. – №171. –
143 p.
82. Muller, K. H. Аpplied Physics A [Text]/ K. H. Muller. – 1986. – №40. – 209 p.
83. Nimmagadda, R. Journal of Vacuum Science & Technology [Text]/ R. Nimmagadda,
R. F. Bunshah.– 1971. – №8. – 677 p.
84. Мартыненко, Ю. В. Взаимодействие плазмы с поверхностью [Текст]/
Ю. В. Мартыненко // Итоги науки и техники. Сер. Физика плазмы. Т.3./ под ред.
В.Д. Шафранова. – М: ВИНИТИ, 1982. – С. 150-190.
85. Chow, R. Journal of Vacuum Science & Technology [Text]/ R. Chow,
R. F. Bunshah.– 1971. – №8. –665 p.
86. Thornton, J.A. Thin Solid Films [Text]/ J. A. Thornton. – 1978. – №54. –23 p.
87. Bohm, D. The characteristics of electrical discharges in magnetic fields [Text]/
D. Bohm/ In: Guthrie A, Wakerling RK, editor. – New York, 1949.
88. Козлов, О. В. Электрический зонд в плазме [Текст]/ О. В. Козлов. – М.:
Атомиздат, 1969. – 291 с.
129
89. Доброхотов, Е.И. Об измерениях параметров холодной плазмы многосе-
точными зондами[Текст]/ Е. И. Доброхотов, И. Н. Москалев // ЖТФ. – 1970.–
Т.40.– Вып. 5 – С. 1048–1058.
90. Русанов, В.Д. Современные методы исследования плазмы [Текст]/
В. Д. Русанов. – М: Госатомиздат, 1962.– 183 с.
91. Доброхотов, Е.И. Использование многосеточных зондов для измерений в
плазме с направленными потокамми заряженных частиц [Текст]/ Е. И. Добро-
хотов, И. Н. Москалев // ЖТФ.– 1970.– Т.40.– Вып.7.– С.1371– 1376.
92. Ошер, Дж. Корпускулярная диагностика [Текст]/ Дж. Ошер // Диагности-
ка плазмы: под. ред. Р. Хаддлстоуна, С. Леонарда – М.: Мир. – 1967.– С. 426-
502.
93. Чернетский, А.В. Аппаратура и методы плазменных исследований.
[Текст]/ А. В. Чернетский, О. А. Зиновьев, О. В. Козлов; под ред. В. Д. Русано-
ва. – М.: Атомиздат, 1965. – 364 с.
94. Зондовая диагностика низкотемпературной плазмы в магнитном поле
[Текст]/ Ф. Г. Бакшт , Г. А. Дюжев, А. Н. Марциновский и др.// ЖТФ.– 1977.–
Вып. 9. – С. 2269-2279.
95. Белан, Н.В. Об исследовании электростатическими зондами влияния ус-
коряющего напряжения на режим работы технологической ионно–плазменной
установки [Текст]/ Н. В. Белан, С. С. Иващенко, Н. И. Патлай //Источники и ус-
корители плазмы. – Х., 1984. – Вып. 8. – С. 76-79.
96. Подгорный, И.М. Лекции по диагностике плазмы [Текст]/ И. М. Подгор-
ный. – М.: Атомиздат, 1968.– 220 с.
97. Кассандрова, О.Н. Обработка результатов наблюдений [Текст]/О. Н. Ка-
сандрова, В. В. Лебедев – М.: Наука, 1970. – 52 с.
98. Планковский, С.И. Оценка теплового состояния лопатки при очистке по-
током ионов перед напылением [Текст]/ Планковский С.И., В.О. Гарин,
А.О. Гарин //Открытые информационные и компьютерные интегрированные
технологии: сб. науч. тр. Нац. аэрокосм. ун-та им. Н. Е. Жуковского «ХАИ». –
Вып.49. – Х., 2011. – С. 58-67.
130
99. Гарин, А.О. Технологический источник для ионной очистки поверхно-
стей лопаток ГТД перед осаждением покрытий [Текст]/ А.О. Гарин // Авиаци-
онно–космическая техника и технология: сб. науч. тр. Нац. аэрокосм. ун–та им.
Н. Е. Жуковского «ХАИ». – Вып. 6(53). – Х., 2008. – С.78–84.
100. Колесник, В.В., Исследование процессов генерирования ионных потоков
в ионном магнетроне [Текст]/ В. В. Колесник, В. Г. Падалка, И. В. Лунев //
Авиационно– космическая техника и технология: сб. науч. трудов. – Вып.12.–
Х.: Гос. аэрокосм. ун-т «ХАИ», 1999. – С. 58-61.
101. Преображенский, В. П. Теплотехнические измерения и приборы [Текст]:
учебник для вузов по специальности «Автоматизация теплоэнергетических
процессов» / В. П. Преображенский. — 3-е изд., перераб. — М.: Энергия, 1978.
— 704 с.
102. Планковский, C.И. Моделирование термоимпульсной обработки с учетом
неоднородности топливной смеси [Текст]/ С.И. Планковский, О.В. Шипуль,
О.В. Трифонов и др.// Открытые информационные и компьютерные интегриро-
ванные технологии. –Х., НАКУ «ХАИ». – 2010. – Вып. 46. – С. 75–87
103. Grotjans, H. Wall functions for general application CFD codes [Text]/ H. Grotjans,
F.R. Menter// ECCOMAS 98. Proceedings of the IV Europ. CFD Conf. - John
Wiley&Sons. – 1998. – P. 1112–1117.
104. Корсунов, К. А. Математическое моделирование нагрева низкосортных
углей в плазменной струе [Текст] / К.А. Корсунов, С.Н. Сергиенко, Т.В. Бирю-
кова // сб. науч. тр. Донбасского государственного техн. ун-та. – Вып. 38. – Ал-
чевск: ДонГТУ, 2012. – С. 252 – 267.
105. ГОСТ Р 8.585–2001. Термопары. Номинальные статистические характе-
ристики преобразования [Текст]; введ. 21.11.2001. – М.: Изд-во стандартов,
2001. – 77 с.
106. Рвачев, В.Л. R–функции в задачах теории пластин [Текст] / В. Л. Рвачев,
Л. В. Курпа. – К.: Наукова думка, 1987. – 230 с.
107. Рвачев, В.Л. Алгебро–логические и проекционные методы в задачах теп-
131
лообмена [Текст] / В. Л. Рвачев, А. П. Слесаренко. – К:Наукова думка, 1976. –
137 с.
108. Орлов, М.Р. Термическая обработка и горячее изостатическое прессова-
ние рабочих лопаток турбины из жаропрочных никелевых сплавов [Текст] /
М. Р. Орлов// Метод. пособие. – М.: ФГУП «ММПП «Салют», 2009.– 13 с.
109. Ройх, И.Л., Нанесение защитных покрытий в вакууме [Текст] / И.Л. Ройх,
Л. Н Колтунова, С. Н. Федосов.– М.: Машиностроение, 1976. – 369 с.
110. Применение автономных ионных источников для предварительной очи-
стки поверхностей лопаток газотурбинных двигателей [Текст]/ В. П. Колесник,
Н.П. Степанушкин, А. О. Гарин и др. // Авиационно–космическая техника и
технология: сб. науч. тр. Нац. аерокосм. ун–та им. Н. Е. Жуковского «ХАИ». –
Вып. 2(79). – Х., 2012. – С.52–56.
111. Самсонов, Г.В. Тугоплавкие соединения: справочник [Текст]/ Г.В. Самсо-
нов, И. М. Винницкий. – М.: Металлургия, 1976. – 560 с.
112. Мовчан, Б.А., Жаростойкие покрытия, осаждаемые в вакууме [Текст]/
Б.А. Мовчан, И. С. Малашенко. – К.: Наукова думка, 1983.– 232 с.
113. Михеев, М. А. Основы теплопередачи [Текст]/ М. А. Михеев, И.М. Ми-
хеева. – 2-е изд., стереотип.– М.: Энергия, 1977. – 344 с.
114. Смирнов, Б.М. Введение в физику плазмы [Текст]/ Б. М. Смирнов. – М.:
Наука,1975.– 176 с.
115. Технология производства авиационных двигателей [Текст]: монография /
В. А. Богуслаев, А. Я. Качан, В. Ф. Мозговой и др. – 2-е изд., перераб. и доп. –
Запорожье: Мотор Сич, 2010. – Ч. 1: Основы технологии авиадвигателестрое-
ния. – 2010. – 418 с.
116. Мартыненко, Ю.В. Взаимодействие плазмы с поверхностью [Текст]/
Ю.В. Мартыненко// Итоги науки и техники. Сер. Физика плазмы. – М. ВИНИ-
ТИ. – 1982. – С. 150-190.
117. Технология производства авиационных двигателей [Текст]: монография /
В. А. Богуслаев, А. Я. Качан, В. Ф. Мозговой и др. – 2-е изд., перераб. и доп. –
Запорожье: Мотор Сич, 2010 – Ч. 2: Основы проектирования технологических
процессов обработки деталей и методы исследования в технологии авиадвига-
132
телестроения. – 2010. – 430 с.
118. Якушев, А. И., Взаимозаменяемость, стандартизация и технические изме-
рения [Текст]: учебник для вузов/ А. И. Якушев, Л. Н. Воронов, Н. М. Федотов.
— 6–е изд., перераб. и доп. — М.: Машиностроение, 1987. — 352 с.
119. Лабораторные занятия по физике. Учебное пособие [Текст]/ Л.Л. Голь-
дин, Ф.Ф. Игошин, С. М. Козел и др.; под ред. Л. Л. Гольдина. – М.: Наука.
Главная ред. физ.-мат. лит-ры, 1983. – 704 с.
120. Назаров, Н. Г. Метрология. Основные понятия и математические модели.
[Текст]/ Н. Г. Назаров. – М.: Высшая школа, 2002. — 348 с.
121. Богуслаев, В.А.. Управление точностью металлополимерных модельных
прессформ для литья заготовок лопаток ГТД на основе метода аналитических
эталонов [Текст] / В. А. Богуслаев, В. А. Липский, К. Б. Балушок // Вестник
двигателестроения. – 2004. – № 1. – С. 11-14.
122. Thomas, T. R. Rough Surfaces / Tom R. Thomas // Imp. College Press –
1999. – SE. – P. 35-49.
123. Белов, В. К. Рефлектометрический прибор для определения шероховато-
сти поверхности / В. К. Белов, В. Г. Бочкарев // Заводская лаборатория, Метал-
лургия. – Т. 55. – 1989. – № 6. – С. 67-70.
124. Luminescence and EPR Characterization of Vanadium Doped Semi–Insulating
4H SiC [Text]/ E. N. Kalabukhova, D. V. Savchenko, S. Greulich–Weber and others//
Materials Science Forum – 2006 – V. 527–529. – P 651 – 654.
125. Исследование фотолюминесценции ионов Mn2+ в пластически деформи-
рованных монокристаллах ZnS [Текст]/ М. Ф. Буланый, А. А. Горбань,
А. В. Коваленко и др. // Изв. вузов. Физика. – 2002. –Т. 45, №12. – С. 66-70.
126. Omelchenko, S. A. Influence of electric fields of dislocations on energy state
of ions Mn2+ in ZnSe crystals [Text]/ S. A. Omelchenko, S. I. Gaiday, O. V.
Khmelenko// International Conference “Crystal Materials’ 2007”, ICCM 2007.–
Kharkov.– P. 10.
127. Omelchenko, S. A. Features of some properties of crystals of zinc selenide
with the manganese impurty [Text] /S. A. Omel`chenko, O. V. Khmelenko// IIId
International Conference ICCM 2010. Abstract Book, 2010. – Kharkov. – P. 39.