Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
- Название:
- Орликовский, Николай Александрович. Неразрушающие высоколокальные методы электронно-зондовой диагностики приборных структур микро- и наноэлектроники
- ВУЗ:
- Физ.-технол. ин-т РАН
- Краткое описание:
- Орликовский, Николай Александрович. Неразрушающие высоколокальные методы электронно-зондовой диагностики приборных структур микро- и наноэлектроники : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Орликовский Николай Александрович; [Место защиты: Физ.-технол. ин-т РАН].- Москва, 2012.- 144 с.: ил. РГБ ОД, 61 12-1/1146
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб