Орликовский, Николай Александрович. Неразрушающие высоколокальные методы электронно-зондовой диагностики приборных структур микро- и наноэлектроники :



  • Название:
  • Орликовский, Николай Александрович. Неразрушающие высоколокальные методы электронно-зондовой диагностики приборных структур микро- и наноэлектроники
  • Кол-во страниц:
  • 200
  • ВУЗ:
  • Физ.-технол. ин-т РАН
  • Год защиты:
  • 2012
  • Краткое описание:
  • Орликовский, Николай Александрович. Неразрушающие высоколокальные методы электронно-зондовой диагностики приборных структур микро- и наноэлектроники : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Орликовский Николай Александрович; [Место защиты: Физ.-технол. ин-т РАН].- Москва, 2012.- 144 с.: ил. РГБ ОД, 61 12-1/1146
  • Список литературы:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


ПОИСК ДИССЕРТАЦИИ, АВТОРЕФЕРАТА ИЛИ СТАТЬИ


Доставка любой диссертации из России и Украины