Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
- Название:
- Бейсенханов, Нуржан Бейсенханович. Структурные и физические свойства пленок SiCx и SnOx, синтезированных различными методами
- ВУЗ:
- Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН
- Краткое описание:
- Бейсенханов, Нуржан Бейсенханович. Структурные и физические свойства пленок SiCx и SnOx, синтезированных различными методами : диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 / Бейсенханов Нуржан Бейсенханович; [Место защиты: Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН].- Черноголовка, 2011.- 215 с.: ил.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб