Бейсенханов, Нуржан Бейсенханович. Структурные и физические свойства пленок SiCx и SnOx, синтезированных различными методами



  • Название:
  • Бейсенханов, Нуржан Бейсенханович. Структурные и физические свойства пленок SiCx и SnOx, синтезированных различными методами
  • Кол-во страниц:
  • 215
  • ВУЗ:
  • Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН
  • Год защиты:
  • 2011
  • Краткое описание:
  • Бейсенханов, Нуржан Бейсенханович. Структурные и физические свойства пленок SiCx и SnOx, синтезированных различными методами : диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 / Бейсенханов Нуржан Бейсенханович; [Место защиты: Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН].- Черноголовка, 2011.- 215 с.: ил.
  • Список литературы:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


ПОИСК ДИССЕРТАЦИИ, АВТОРЕФЕРАТА ИЛИ СТАТЬИ


Доставка любой диссертации из России и Украины