Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
- Название:
- Амиров, Ильдар Искандерович. Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро- и наномеханических устройств
- ВУЗ:
- Физ.-технол. ин-т РАН
- Краткое описание:
- Амиров, Ильдар Искандерович. Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро- и наномеханических устройств : диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 / Амиров Ильдар Искандерович; [Место защиты: Физ.-технол. ин-т РАН].- Москва, 2010.- 300 с.: ил. РГБ ОД, 71 11-1/167
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб