Амиров, Ильдар Искандерович. Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро- и наномеханических устройств



  • Название:
  • Амиров, Ильдар Искандерович. Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро- и наномеханических устройств
  • Кол-во страниц:
  • 300
  • ВУЗ:
  • Физ.-технол. ин-т РАН
  • Год защиты:
  • 2010
  • Краткое описание:
  • Амиров, Ильдар Искандерович. Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро- и наномеханических устройств : диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 / Амиров Ильдар Искандерович; [Место защиты: Физ.-технол. ин-т РАН].- Москва, 2010.- 300 с.: ил. РГБ ОД, 71 11-1/167
  • Список литературы:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


ПОИСК ДИССЕРТАЦИИ, АВТОРЕФЕРАТА ИЛИ СТАТЬИ


Доставка любой диссертации из России и Украины