Абрамова Елена Александровна. Размерное травление кремния и диоксида кремния высокочастотным газовым тлеющим микроразрядом



  • Название:
  • Абрамова Елена Александровна. Размерное травление кремния и диоксида кремния высокочастотным газовым тлеющим микроразрядом
  • Кол-во страниц:
  • 200
  • ВУЗ:
  • Воронеж
  • Год защиты:
  • 2003
  • Краткое описание:
  • Абрамова Елена Александровна. Размерное травление кремния и диоксида кремния высокочастотным газовым тлеющим микроразрядом : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01.- Воронеж, 2003.- 107 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-5/3384-3
  • Список литературы:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


ПОИСК ДИССЕРТАЦИИ, АВТОРЕФЕРАТА ИЛИ СТАТЬИ


Доставка любой диссертации из России и Украины