Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
- Название:
- Баранов Александр Михайлович. Основы теории непрерывного технологического контроля параметров нанокомпозитных структур в технологии ионно-плазменных процессов
- Краткое описание:
- Баранов Александр Михайлович. Основы теории непрерывного технологического контроля параметров нанокомпозитных структур в технологии ионно-плазменных процессов : Дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.01 : Москва, 2003 294 c. РГБ ОД, 71:04-5/292
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб